埋入式无线MEMS应变片系数的标定

本文研究了一种埋入式MEMS(微电子机械系统 )无线应变片性能的实验标定方法。通过引入一个当量应变片 ,遵照标准应变片的标定规定 ,本文设计了实用有效的实验标定步骤。分别对标准应变片和MEMS试样进行完全相同的拉伸实验 ,从而得到埋入MEMS应变片的应变片系数 (灵敏度 )为 13,同时获得在实验试样的制作条件下 ,测量应变与实际应变之比为 2。