半密封直拉法生长6英寸磷化铟单晶热场研究

磷化铟(InP)是一种重要的化合物半导体材料。InP由于性能优异,在高频电子器件及红外光电器件领域的应用日趋增多。目前,磷化铟器件的价格远高于砷化镓器件,其主要原因是磷化铟单晶成品率低,以及晶圆尺寸较小造成外延和器件工艺成本居高不下。增大InP单晶的直径对降低晶圆及半导体工艺成本至关重要。制备大尺寸InP单晶的主要难点是提高晶体的成品率和降低晶体的应力。目前行业内通常使用垂直梯度凝固(Vertical gradient freeze,VGF)法和液封直拉(Liquid Encapsulated Czochralski,LEC)法制备InP。VGF法在制备6英寸(15.24 cm)InP方面鲜有建树,LEC法制备的晶体往往具有更高的应力和位错密度。本研究展示了半密封直拉(Semi-Sealed Czochralski,SSC)法在生长大直径化合物半导体材料方面的优势,采用数值模拟方法分析了LEC法和SSC法中熔体、晶体、氧化硼和气氛中的温度分布,重点分析了SSC技术的温度分布。模拟结果中,SSC法晶体中的温度梯度为17.4 K/cm,明显低于LEC法中的温度梯度28.7 K/cm。在等径阶段SSC法晶体肩部附近气氛温度比LEC法高504 K。根据模拟结果对SSC法热场进行了优化后,本研究得到了低缺陷密度、无裂纹的6英寸S掺杂InP单晶,证实了SSC法应用于大尺寸InP单晶生长的优势。

6英寸低位错InP单晶生长研究

为了获得6英寸(1英寸≈2.54 cm)低缺陷InP单晶,采用改进的高压液封直拉技术生长了低位错密度的直径6英寸、最大长度超过了120 mm的InP单晶。掺杂剂为Fe和S,晶体的导电类型分别是半绝缘型和n型。首先分析了6英寸InP单晶生长的难点,利用半封闭热屏方法减小晶体内部的温度差异来降低晶体内的位错密度,同时采用多加热器热场调节晶体生长界面的稳定性并降低孪晶形核概率。从工艺角度阐述了固液界面对生长过程中位错及孪晶的影响,并提出降低位错增殖的工艺措施。通过优化生长条件及合适的固液界面形貌,将直径6英寸的半绝缘InP单晶的位错密度降低到0.5×10^(4)~1×10^(4)cm^(-2)。对掺S的n型InP单晶片,超过70%面积上位错密度可以低至0.5×10^(3)~1×10^(3)cm^(-2)。

LEC法生长高质量6英寸InP单晶

制备大直径单晶是降低器件成本的重要手段之一。对于制备大尺寸半绝缘InP单晶而言,由于其需要在高温高压环境下生长,随着热场尺寸的增大,炉体中气氛以及熔体中的对流增大,因而易产生孪晶和多晶。采用液封直拉(LEC)技术,通过多温区热场优化设计,调节各段加热器功率,降低了大尺寸热场温度梯度,提高了热场的对称性和稳定性,获得了平坦的固液界面,同时采用平缓放肩工艺抑制孪晶的形成。重复生长出约9.5 kg的6英寸(1英寸=2.54 cm)InP单晶,直径6英寸以上的单晶部分长度大于67 mm。测试结果表明,单晶片位错密度小于1×104 cm-2,电阻率大于107Ω·cm。从晶体生长和测试结果可以看出,合适的温度梯度可以使固液界面比较平坦,有效降低InP晶体的位错密度,电阻率片内均匀性为8.7%。

太阳电池用多晶硅铸锭中非金属夹杂物的研究进展

多晶硅广泛应用于太阳电池领域。多晶硅铸锭的结晶质量决定了后续晶锭的加工和光伏组件的性能及寿命。碳化硅和氮化硅是多晶硅铸锭中最常见的两种非金属夹杂物。系统概述了多晶硅铸锭中氮化硅及碳化硅的形貌特征、微观分布形态及宏观分布规律等研究进展,介绍了两种夹杂物的伴生过程。根据多晶硅铸锭的生长条件,探讨了其中的碳和氮元素的来源及碳化硅和氮化硅夹杂物对多晶硅铸锭加工过程的影响。最后,从生长条件及工艺方法等方面分析了关于抑制和消除碳化硅和氮化硅夹杂物的研究进展情况。

技术创新对股权结构与企业绩效的中介效应——来自创业板上市制造企业的实证

基于2013-2017年我国277家创业板上市制造业企业数据,采用中介效应检验方法分析股权结构、技术创新与企业绩效三者间的相互关系。结果表明:①第一大股东持股比例与技术创新、企业绩效间均呈显著正相关关系;②股权集中度与技术创新、企业绩效间均呈显著正相关关系;③在股权适度集中的基础上,股权制衡度与技术创新和企业绩效均呈显著正相关关系;④技术创新部分中介了股权结构对企业绩效的影响。研究结果有助于厘清股权结构、技术创新与企业绩效三者间的相互关系,对于我国企业自主创新能力提升及企业绩效可持续增长具有重要意义。

InP晶体中Fe、B、Cu和Zn的杂质分析

采用液封直拉(LEC)法制备了掺Fe半绝缘磷化铟(InP)晶体,通过电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)法和辉光放电质谱(GDMS)法等直接测试元素含量的方法研究了作为掺杂剂的Fe浓度分布和含量较高的B、Cu和Zn杂质对晶体质量的影响。结果表明,Fe浓度在径向上呈现"W"形分布,整体上中心低、边缘高,但在中心附近微小增高;在轴向上呈现从晶体头部到尾部浓度逐渐增加的趋势;经GDMS全元素检测发现,在晶体头部的中心,B、Cu和Zn等杂质的浓度高。通过分析得出,Fe浓度在径向和轴向上的分布受杂质分凝、固液界面形状和局部微观扩散等因素影响;B、Cu和Zn等杂质主要来源液封剂B2O3和石墨系统沾污等,并且由于这些杂质的引入,导致晶体内容易产生难熔的In氧化物,在晶体内形成夹杂物的缺陷。

响应面分析法优化罗望子多糖提取工艺

为提高罗望子多糖的提取效率,降低蛋白质质量分数,使之达到国家标准,以原料目数、提取pH、提取温度为自变量,提取率和蛋白质质量分数为因变量,通过响应面分析法优化罗望子多糖的提取条件。确定了最佳工艺条件为:原料目数118目,提取pH 3.06,提取温度90℃。在此条件下,罗望子多糖提取率的理论值为49.76%,蛋白质质量分数为1.00%。对此进行验证实验,实际条件为原料目数120目,提取pH 3.1,提取温度90℃,罗望子多糖提取率为49.59%±0.36%,蛋白质质量分数为1.02%±0.05%,实际值与模型理论值相符度高,模型具有实际意义。通过优化提取工艺,为罗望子胶的工业化生产提供技术参考。

用于辐射探测器的低Fe掺杂半绝缘InP材料

基于半绝缘InP衬底的辐射探测器在X射线成像领域有着广阔的应用前景。半绝缘InP衬底中Fe的掺杂量对InP基辐射探测器的性能有一定的影响。通过液封直拉(LEC)法和垂直梯度凝固(VGF)法生长了掺Fe半绝缘InP单晶,并对普通Fe掺杂(0.3 g/kg)和低Fe掺杂的InP单晶的电参数特性、光学特性及辐射特性等方面进行了研究。测试数据表明VGF生长的InP单晶的位错密度小于500 cm-2,缺陷非常少。但VGF必须使用多晶InP作为原料,Fe的掺杂量不能低于0.3 g/kg,造成晶体中的杂质含量较高。低Fe掺杂LEC生长的InP单晶的掺杂量只有普通掺杂的一半,经过退火,低Fe掺杂LEC生长的InP的电阻率达到4.9×107Ω·cm,迁移率达到4410 cm2·V-1·s-1,位错密度小于1×104 cm-2,显示出了较好的半绝缘特性且晶体质量良好。使用低Fe掺杂半绝缘InP制成的辐射探测器显示出了良好的性能。

磷化铟晶体中孪晶形成机理的研究进展

孪晶可以降低化合物半导体单晶的成品率,是目前半导体材料领域研究的热点之一。针对InP及相关极易产生孪晶的半导体材料,系统介绍了孪晶形核的各类物理模型,归纳了材料属性、晶体生长放肩角度、温度梯度、生长速率、小平面、半导体极性及生长系统稳定性等因素对孪晶形成的影响。借助多晶硅中孪晶现象和形核机理解释了InP多晶中孪晶形核现象。同时,总结了掺杂剂及杂质元素对孪晶形成的影响。最后,对InP生长过程中孪晶形成及抑制方法进行了展望。InP单晶中孪晶的抑制将会大幅降低InP单晶衬底的成本,推动InP微电子及光电子领域的发展。

加入合作社提高了农户的收入水平吗——基于云南省微观调查数据的实证分析

[目的/意义]本文基于云南省哲学社科规划专题项目新时代基于农民合作社的精准扶贫研究的实地调研数据,检验加入合作社对于农户收入水平影响的边际效应。[方法/过程]我们以被调查农户的受教育水平和家庭类别作为工具变量,考察加入合作社可能具有的内生性而导致的估计结果误差。[结果/结论]研究发现,加入合作社显著提高了农户的收入水平,在加入各项控制变量及其他因素后仍然显著。此外,我们还通过分位数回归研究发现,加入合作社对不同收入农户的影响呈线性递减的影响,即对低收入农户影响程度最大,而对中高收入农户的影响越来越小,且低收入农户受益程度远高于其他。

InP籽晶表面处理的装置设计与工艺优化

为改善InP籽晶表面洁净度,保证InP材料生长时的电学参数并减小引晶阶段孪晶形成概率,设计了InP籽晶表面处理装置。该装置采用动态方式对籽晶表面进行处理,采用原子力显微镜扫描处理后籽晶的表面形貌,结果显示籽晶表面无杂质和沾污。通过在晶体引晶部位的不同位置取样进行霍尔测试。测试结果显示,用常规静态方式和动态方式处理的籽晶,其生长出晶体引晶部分的样品的平均迁移率分别约为4 100 cm^(2)/(V·s)和4 600 cm^(2)/(V·s),平均载流子浓度分别约为7×10^(15) cm^(-3)和4×1015 cm^(-3)。通过该装置及工艺处理的籽晶,表面被处理得彻底、无沾污,容易生长出电学参数优异的晶体。

紫云英苷对慢性心力衰竭大鼠心肌纤维化及AMPK/Nrf2通路的影响

目的观察紫云英苷对慢性心力衰竭大鼠心肌纤维化及腺苷酸活化蛋白激酶(AMPK)/核因子E2相关因子2(Nrf2)通路的影响。方法2020年8—9月于华北理工大学附属医院基础实验室进行实验。48只大鼠建立慢性心力衰竭模型,而后随机数字表法分成模型组、卡托普利组(10 mg/kg)、紫云英苷低剂量组(25 mg/kg)、紫云英苷高剂量组(50 mg/kg),另选取12只大鼠作为空白对照组(不进行任何处理),各药物组大鼠给予相应药物灌胃,空白对照组及模型组给予等体积生理盐水灌胃,每天1次,连续给药4周。实验结束后,彩色多普勒超声诊断仪测定大鼠左心室射血分数(LVEF)、左心室短轴缩短率(FS)、左心室收缩末期内径(LVESD)和左心室舒张末期内径(LVEDD)。取心肌组织行Masson染色测定并计算心肌胶原容积分数(CVF)和血管周围胶原面积与血管管腔面积比值(PVCA/LA),HE染色观察大鼠心肌组织形态学,荧光定量PCR及蛋白免疫印迹法测定心肌组织中AMPK、Nrf2 mRNA和蛋白水平。结果心肌组织HE染色显示,空白对照组心肌结构正常;模型组心肌横纹紊乱,心肌组织纤维化明显,有明显炎性反应细胞浸润;卡托普利组及紫云英苷低、高剂量组心肌组织纤维化程度减轻,炎性反应细胞浸润减少,心肌纤维排列整齐。与空白对照组比较,模型组大鼠LVEDD、LVESD、CVF、PVCA/LA水平升高,FS、LVEF、心肌组织中AMPK、Nrf2 mRNA和蛋白水平降低(P<0.05);与模型组比较,卡托普利组、紫云英苷各剂量组大鼠LVEDD、LVESD、CVF、PVCA/LA水平降低,FS、LVEF、心肌组织中AMPK、Nrf2 mRNA和蛋白水平升高(P<0.05);紫云英苷高剂量组大鼠LVEDD、LVESD、CVF、PVCA/LA水平低于紫云英苷低剂量组,FS、LVEF、心肌组织中AMPK、Nrf2 mRNA和蛋白水平高于紫云英苷低剂量组(P<0.05);卡托普利组和紫云英苷高剂量组大鼠上述指标比较差异无统计学意义(P>0.05)。结论紫云英苷可改善慢性心力衰竭大鼠心功能,减轻心肌纤维化程度,其机制可能与紫云英苷激活AMPK/Nrf2通路有关。

Siderophile Element Compositions of Pyroxenes in HED Meteorites: Implications for the Differentiation of Magma Ocean on Vesta

1 Introduction The howardite,eucrite and diogenite(HED)meteorites are ultramafic and mafic igneous rocks and impact-engendered breccias derived from a thoroughly differentiated asteroid 4 Vesta.Diogenites include dunites,

荒漠草原核心区水热分布格局与自然放牧对群落地上生物量的影响

以内蒙古苏尼特右旗为例,在不同水热空间上分布的放牧压力相近四户牧民的草场为研究对象,对内蒙古荒漠草原核心区不同水热空间分布格局下自然放牧对草原群落地上生物量影响进行分析。结果表明:荒漠草原不同水热分布区内部的植物群落地上生物量分布格局不同,离居民点越远植物群落生物量相对越高,居民点棚圈附近群落地上生物量和远离棚圈的牧场边缘群落地上生物量之间差异显著,只有高温低湿区牧户草场地上生物在空间上差异不显著;而荒漠草原不同水热分布区之间的比较发现,其植物群落地上生物量分布格局也不同,在自然放牧状态下年均气温偏低区域的荒漠草原植物群落地上生物量大于年均气温偏高的荒漠草原植物群落地上生物量,并且差异显著。

经济政策不确定性与企业经营风险

基于国泰安数据库(CSMAR)A股上市公司2007~2019年的财务数据,本文研究经济政策不确定性与企业经营风险的相关关系。研究发现,经济政策不确定性对企业经营风险的影响较为显著,且主要通过降低企业的盈利能力进而影响企业经营风险。进一步的研究显示,相比于非国有企业,经济政策不确定性对经营风险的作用在国有企业中出现弱化;相比于持有资金少的企业,持有资金多的企业在经济政策不确定时的经营风险更高。据此,本文从政府、企业的角度提出可供参考的对策建议。

人民币汇率波动对云南省与东南亚贸易影响效应的实证研究

人民币汇率变动的贸易效应是众多学者关注的焦点,人民币汇率波动对云南省与东南亚贸易有着重要影响。本文采用云南省2003-2018年季度时间序列数据分析人民币汇率变动对云南省与东南亚贸易的影响。研究结果显示:人民币汇率变动会对云南省与东南亚贸易产生显著影响,并且基本为正向的影响。基于研究结果,本文提出了相应的对策。

健康教育在提高中医护理技术临床工作中的应用

目的探讨健康教育在提高中医护理技术临床工作中的应用.方法选取2016年9月-2017年12月山东省威海市中医院收治的肺癌、肝癌、乳腺癌及胃癌癌痛患者60例作为研究对象,将患者随机分为对照组30例和观察组30例.对照组在实施中医护理技术时给予常规护理,观察组在常规护理基础上,接受中医护理健康教育.结果两组患者经过不同护理干预后,观察组患者在接受中医护理技术的依从性、对中医护理健康教育的掌握度、对护理服务满意度的评价均高于对照组,差异有统计学意义(P<0.05).结论实施中医护理健康教育能明显提高患者对中医护理技术的依从性,增加患者对中医护理健康教育的掌握度和护理服务满意度.

中医护理对癌症患者生活质量、情绪的影响分析

目的研究中医护理对癌症患者生活质量、情绪的影响。方法在2016年8月—2017年9月对本院收治的癌症患者中抽选80例展开研究,以简单随机分组的方式将其分为两组,接受常规护理的患者为对照组,在其基础上接受中医护理的患者为观察组,比较两组患者的生活质量与心理情绪。结果观察组患者的上述观察指标均优于对照组,P<0.05。结论中医护理应用于癌症患者当中,可以改善患者的生活质量与负性情绪。

非酒精性脂肪肝病与糖尿病大血管病变的相关性研究

(1)目的通过检测非酒精性脂肪肝病(NAFLD)合并2型糖尿病(T2DM)患者血糖、血脂、胰岛素水平等指标,探讨NAFLD、T2DM与糖尿病大血管病变的相关性。(2)方法共纳入208例受试者,根据T2DM和NAFLD病程,将其分为单纯T2DM组(A组,62例),T2DM病程大于NAFLD病程组(B组,63例)和NAFLD病程大于T2DM病程组(C组,83例)。所有患者均进行病史及体格检查,实验室检查包括肾功能、血脂、糖化血红蛋白(HbA1c)、口服葡萄糖耐量试验(OGTT)等。(3)结果与A组相比,B、C组的体质量指数(BMI)显著增高,差异有统计学意义(P <0.05),高密度脂蛋白胆固醇(HDL-C)水平显著降低,差异有统计学意义(P <0.05);与A、B组相比,C组的血尿酸(SUA)水平、空腹胰岛素水平和胰岛素抵抗指数较高,高血压病和冠心病的患病率显著升高,差异有统计学意义(P <0.05);甘油三酯(TG)水平在A、B、C三组中依次升高,差异有统计学意义(P <0.05)。(4)结论先发生NAFLD的T2DM患者发生糖尿病大血管病变的风险显著增高。

旋转作用下无磁耗散的磁Rayleigh-Bénard问题的稳定性

研究旋转作用下无磁耗散的磁Rayleigh-Bénard问题的稳定性.建立了旋转作用下的磁Rayleigh-Bénard问题的稳定性条件,并在该条件下证明磁Rayleigh-Bénard问题存在全局的稳定性解,该解关于时间代数衰减.