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太周探测:从60年代四大天文发现说起(下)
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作者 张永刚 顾溢 +3 位作者 马英杰 邵秀梅 李雪 龚海梅 《红外》 CAS 2024年第1期1-11,共11页
人类的探索欲望及数千年来的不断积累促成了20世纪60年代的四大天文发现,而大气层对天文观测的一些根本性限制促使人们在20世纪冲出地球进入太空。在宽广的波段进行天文观测有着极为苛刻的要求,新猜想和模型的提出也要求进行新的验证,... 人类的探索欲望及数千年来的不断积累促成了20世纪60年代的四大天文发现,而大气层对天文观测的一些根本性限制促使人们在20世纪冲出地球进入太空。在宽广的波段进行天文观测有着极为苛刻的要求,新猜想和模型的提出也要求进行新的验证,这些都促进了观测设备及器件的性能趋于极致。本文旨在对此进行简要的回顾分析并列举一些典型实例,侧重考察其探测波段、主镜或天线的口径、探测仪器及所用器件的类型和性能等,以便进行纵向和横向的比较,温故而思新。 展开更多
关键词 天文观测 红外 太赫兹 毫米波 射频与微波
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太周探测:从60年代四大天文发现说起(上)
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作者 张永刚 顾溢 +3 位作者 马英杰 邵秀梅 李雪 龚海梅 《红外》 CAS 2023年第12期1-6,共6页
人类的探索欲望及数千年来的不断积累促成了20世纪60年代的四大天文发现,而大气层对天文观测的一些根本性限制促使人们在20世纪冲出地球进入太空。在宽广的波段进行天文观测有着极为苛刻的要求,新猜想和模型的提出也要求进行新的验证,... 人类的探索欲望及数千年来的不断积累促成了20世纪60年代的四大天文发现,而大气层对天文观测的一些根本性限制促使人们在20世纪冲出地球进入太空。在宽广的波段进行天文观测有着极为苛刻的要求,新猜想和模型的提出也要求进行新的验证,这些都促进了观测设备及器件的性能趋于极致。本文旨在对此进行简要的回顾分析并列举一些典型实例,侧重考察其探测波段、主镜或天线的口径、探测仪器及所用器件的类型和性能等,以便进行纵向和横向的比较,温故而思新。 展开更多
关键词 天文观测 红外 太赫兹 毫米波 射频与微波
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基于锌扩散的InGaAs/InP平面型红外探测器快速热退火研究
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作者 曹嘉晟 李淘 +6 位作者 于一榛 于春蕾 杨波 马英杰 邵秀梅 李雪 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期634-642,共9页
系统研究了快速热退火对锌扩散的In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP PIN探测器的影响。利用电化学电容电压和二次离子质谱技术分析了退火前后Zn和净受主的浓度分布,结果表明退火过程会影响杂质浓度,但不影响扩散深度。制备了不同退火条件的In_(0... 系统研究了快速热退火对锌扩散的In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP PIN探测器的影响。利用电化学电容电压和二次离子质谱技术分析了退火前后Zn和净受主的浓度分布,结果表明退火过程会影响杂质浓度,但不影响扩散深度。制备了不同退火条件的In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP PIN探测器。器件测试反映,未退火的探测器在260~300K具有更低的器件电容和更高的激活能。通过暗电流成分拟合对器件暗电流机制进行分析,未退火器件表现出更低的肖克利-里德-霍尔产生复合电流和扩散电流,因而室温下未退火器件具有更高的峰值探测率。为了制备高性能低掺杂吸收层结构的平面型InGaAs探测器,快速热退火是不必要的工艺。 展开更多
关键词 短波红外 铟镓砷探测器 快速热退火 扩散
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短波红外InGaAs焦平面研究进展 被引量:11
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作者 李雪 龚海梅 +7 位作者 邵秀梅 李淘 黄松垒 马英杰 杨波 朱宪亮 顾溢 方家熊 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期129-138,共10页
围绕新一代遥感探测仪器应用需求,中国科学院上海技术物理研究所在短波红外InGaAs焦平面探测器领域取得了一系列进展。通过低缺陷外延材料、焦平面芯片制备工艺和低噪声读出电路技术研究,研制实现了最大规模达2560×2048元的10μm... 围绕新一代遥感探测仪器应用需求,中国科学院上海技术物理研究所在短波红外InGaAs焦平面探测器领域取得了一系列进展。通过低缺陷外延材料、焦平面芯片制备工艺和低噪声读出电路技术研究,研制实现了最大规模达2560×2048元的10μm中心距1~1.7μm InGaAs焦平面探测器,峰值探测率优于1.0×10^(13)cmHz^(1/2)/W,有效像素率达到99.7%;研制实现了1280×1024元15μm中心距的1~2.5μm延伸波长探测器,峰值探测率优于5.0×10^(11)cmHz^(1/2)/W;发展了新体制新结构器件,研制了单片集成4向偏振功能的160×128元偏振焦平面探测器,消光比优于37:1;研制了64×64元盖革雪崩焦平面探测器,时间分辨率达到0.8 ns。 展开更多
关键词 铟镓砷 焦平面 短波红外 暗电流 偏振探测 雪崩倍增
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三五之魅
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作者 张永刚 顾溢 +4 位作者 马英杰 邵秀梅 李雪 龚海梅 方家熊 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期941-950,共10页
三五族化合物半导体具有丰富的特性,使其在电子学、光电子学以及光子学领域获得了各种应用,这些都源自于三族元素和五族元素构成之二元系的各种魔幻组合形成的多变特性。本文基于二元系砷化物、磷化物及锑化物,对其构成的各种三元系、... 三五族化合物半导体具有丰富的特性,使其在电子学、光电子学以及光子学领域获得了各种应用,这些都源自于三族元素和五族元素构成之二元系的各种魔幻组合形成的多变特性。本文基于二元系砷化物、磷化物及锑化物,对其构成的各种三元系、四元系和五元系的特征进行了几何图示阐述,主要涉及其带隙、晶格常数及其与不同衬底的晶格匹配区域。对氮化物和稀氮、铋化物和稀铋以及硼化物的一些特性也进行了简要讨论。通过对整个三五族化合物半导体的全面了解将有助于深入了解其潜力和可持续发展态势,包括存在的诸多挑战。 展开更多
关键词 三五族化合物半导体 二元系 三元系 四元系 五元系
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截止波长2.2μm的平面型延伸波长InGaAs探测器
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作者 程吉凤 李雪 +5 位作者 邵秀梅 李淘 王红真 马英杰 杨波 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期804-809,共6页
采用闭管扩散的方法成功研制了截止波长2.2μm的平面型延伸波长InGaAs探测器芯片。在分子束外延法(MBE)生长的In_(0.75)Al_(0.25)As/In_(0.75)Ga_(0.25)As/In_(0.75)Al_(0.25)As外延材料上,采用砷化锌作为扩散掺杂源、SiN_(x)作为扩散... 采用闭管扩散的方法成功研制了截止波长2.2μm的平面型延伸波长InGaAs探测器芯片。在分子束外延法(MBE)生长的In_(0.75)Al_(0.25)As/In_(0.75)Ga_(0.25)As/In_(0.75)Al_(0.25)As外延材料上,采用砷化锌作为扩散掺杂源、SiN_(x)作为扩散掩膜层,实现了扩散成结。分析了扩散结深和载流子侧向收集宽度、Ⅰ-Ⅴ特性、光谱响应特性和探测率,结果表明:150 K温度下,器件暗电流密度0.69 nA/cm^(2)@-10 mV,响应截止波长和峰值波长分别为2.12μm和1.97μm,峰值响应率为1.29 A/W,峰值量子效率达82%,峰值探测率为1.01×10^(12) cmHz^(1/2)/W。这些结果对后续进一步优化平面型延伸波长InGaAs焦平面探测器有重要的指导意义。 展开更多
关键词 延伸波长 INALAS/INGAAS 扩散 暗电流密度 量子效率
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集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型光谱模组及其波长定标(英文) 被引量:6
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作者 王绪泉 黄松垒 +3 位作者 于月华 叶捷敏 邵秀梅 方家熊 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期199-204,共6页
提出一种集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型近红外光谱模组.作为核心分光元件,线性渐变滤光片被紧密耦合在光敏芯片表面.相比于光栅分光方式,模组具有紧凑的光学结构和稳定的光学特性.对此光谱模组进行波长定标实验,并给出了标定... 提出一种集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型近红外光谱模组.作为核心分光元件,线性渐变滤光片被紧密耦合在光敏芯片表面.相比于光栅分光方式,模组具有紧凑的光学结构和稳定的光学特性.对此光谱模组进行波长定标实验,并给出了标定准确性评价.实验结果表明,该光谱模组的波长范围为900~1 700nm,波长准确性优于1.3nm,光谱分辨率小于通道中心波长的1.25%.基于此光谱模组的波长定标方法准确、可行,可以被用于微型近红外仪等在线光谱分析领域. 展开更多
关键词 光谱学 INGAAS 焦平面 线性渐变滤光片 波长定标
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短波红外InGaAs焦平面噪声特性 被引量:6
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作者 于春蕾 李雪 +2 位作者 邵秀梅 黄松垒 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期528-534,共7页
为研究铟镓砷焦平面的噪声特性,设计了两种不同吸收层掺杂浓度的InGaAs外延材料,采用标准工艺制备了平面型160×128元光敏芯片,并与相同结构的读出电路倒焊耦合形成160×128元焦平面,采用改变积分时间和改变器件温度的方法,测... 为研究铟镓砷焦平面的噪声特性,设计了两种不同吸收层掺杂浓度的InGaAs外延材料,采用标准工艺制备了平面型160×128元光敏芯片,并与相同结构的读出电路倒焊耦合形成160×128元焦平面,采用改变积分时间和改变器件温度的方法,测试焦平面的信号与噪声.通过研究不同材料参数、器件性能与焦平面噪声的关系,定量分析了短波红外InGaAs焦平面的噪声特性.结果表明,焦平面噪声主要来源于焦平面耦合噪声和探测器噪声,降低InGaAs外延材料吸收层的掺杂浓度,可以有效降低探测器电容,从而降低焦平面的耦合噪声;而探测器噪声由探测器暗电流和工作温度影响,该噪声在长积分时间下决定了焦平面的总噪声水平.实现低暗电流、低电容特性的光敏芯片是降低焦平面噪声的有效途径. 展开更多
关键词 铟镓砷 焦平面 噪声特性
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中心距10 μm截止波长2.6 μm的延伸波长InGaAs焦平面探测器(英文) 被引量:1
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作者 何玮 李平 +8 位作者 邵秀梅 曹高奇 于一榛 张亚光 邓双燕 杨波 李雪 李淘 龚海梅 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期649-652,共4页
采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式,研制了像元中心距为10μm、截止波长2. 6μm的p-i-n型10×10元延伸波长In Ga As探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析,显示了器件优异的暗... 采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式,研制了像元中心距为10μm、截止波长2. 6μm的p-i-n型10×10元延伸波长In Ga As探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析,显示了器件优异的暗电流特性.在室温下,-10 mV偏压时器件的暗电流和优质因子R0A分别为0. 45 nA和14. 7Ω·cm^2,量子效率可达到63%.为了证实像元中心距减小并未影响器件性能,与同种材料中心距30μm的InGaAs焦平面阵列进行了对比分析.相似的实验结果进一步证明了工艺的可行性,对今后实现高密度、大面阵延伸波长InGaAs探测器具有重要的指导意义. 展开更多
关键词 延伸波长 INGAAS探测器 小像元 暗电流密度 量子效率
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分子束外延高铟组分InGaAs薄膜研究 被引量:1
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作者 杨瑛 王红真 +8 位作者 范柳燕 陈平平 刘博文 贺训军 顾溢 马英杰 李淘 邵秀梅 李雪 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期987-994,共8页
研究了分子束外延生长条件对高铟组分InGaAs材料性能的影响,分析了生长温度、Ⅴ/Ⅲ比和As分子束形态对In_(0.74)Ga_(0.26)As材料光致发光和X射线衍射峰强度、本底载流子浓度和迁移率的影响。测试结果表明:适中的生长温度和Ⅴ/Ⅲ比可以... 研究了分子束外延生长条件对高铟组分InGaAs材料性能的影响,分析了生长温度、Ⅴ/Ⅲ比和As分子束形态对In_(0.74)Ga_(0.26)As材料光致发光和X射线衍射峰强度、本底载流子浓度和迁移率的影响。测试结果表明:适中的生长温度和Ⅴ/Ⅲ比可以提高材料晶格质量,减少非辐射复合,降低本底杂质浓度。As分子束为As_(2)时In_(0.74)Ga_(0.26)As材料质量优于As4分子束。当生长温度为570℃,As分子束形态为As2,V/III比为18时,可以获得较高的光致发光和X射线衍射峰强度,室温和77 K下的本底载流子浓度分别达到6.3×10^(14)cm^(-3)和4.0×10^(14)cm^(-3),迁移率分别达到13400cm^(2)/Vs和45160 cm^(2)/Vs。 展开更多
关键词 INGAAS 高铟组分 短波红外 分子束外延 迁移率
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平面型InGaAs探测结构中p型杂质的二维扩散行为研究
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作者 张帅君 李天信 +6 位作者 王文静 李菊柱 邵秀梅 李雪 郑时有 庞越鹏 夏辉 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期262-268,共7页
在平面型InGaAs P-i-N短波红外探测结构中,p型杂质在材料中纵向和横向的扩散是决定pn结位置及其光电性能的主要因素,本文采用扫描电容显微方法(SCM)获得了扩散成结InGaAs/InAlAs像元剖面的二维载流子分布,从而实现对不同扩散条件下pn电... 在平面型InGaAs P-i-N短波红外探测结构中,p型杂质在材料中纵向和横向的扩散是决定pn结位置及其光电性能的主要因素,本文采用扫描电容显微方法(SCM)获得了扩散成结InGaAs/InAlAs像元剖面的二维载流子分布,从而实现对不同扩散条件下pn电场结的精确定位和分析。此外,对于InGaAs/InP探测器,SCM测量揭示了Zn杂质在各功能层中扩散行为的显著差异。在InGaAs吸收区中,Zn的侧向扩散速度是深度方向的3.3倍,远高于其在n-InP帽层中0.67的侧向与深度扩散比,这将对光敏元的边缘电容以及暗电流特性产生影响。 展开更多
关键词 扫描电容显微(SCM) InGaAs平面型探测器 扩散行为 光电流响应
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基于MIS电容器的Al_(2)O_(3)与In_(0.74)Al_(0.26)As的界面特性
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作者 万露红 邵秀梅 +3 位作者 李雪 顾溢 马英杰 李淘 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期384-388,共5页
采用In_(0.74)Al_(0.26)As/In_(0.74)Ga_(0.26)As/In_(x)Al_(1-x)As异质结构多层半导体作为半导体层,制备了金属-绝缘体-半导体(MIS)电容器。其中,SiN_(x)和SiN_(x)/Al_(2)O_(3)分别作为MIS电容器的绝缘层。高分辨率透射电子显微镜和X... 采用In_(0.74)Al_(0.26)As/In_(0.74)Ga_(0.26)As/In_(x)Al_(1-x)As异质结构多层半导体作为半导体层,制备了金属-绝缘体-半导体(MIS)电容器。其中,SiN_(x)和SiN_(x)/Al_(2)O_(3)分别作为MIS电容器的绝缘层。高分辨率透射电子显微镜和X射线光电子能谱的测试结果表明,与通过电感耦合等离子体化学气相沉积生长的SiN_(x)相比,通过原子层沉积生长的Al_(2)O_(3)可以有效地抑制Al_(2)O_(3)和In_(0.74)Al_(0.26)As界面的In2O3的含量。根据MIS电容器的电容-电压测量结果,计算得到SiN_(x)/Al_(2)O_(3)/In_(0.74)Al_(0.26)As的快界面态密度比SiN_(x)/In_(0.74)Al_(0.26)As的快界面态密度低一个数量级。因此,采用原子层沉积生长的Al_(2)O_(3)作为钝化膜可以有效地降低Al_(2)O_(3)和In_(0.74)Al_(0.26)As之间的快界面态密度,从而降低In_(0.74)Ga_(0.26)As探测器的暗电流。 展开更多
关键词 INALAS 原子层沉积 Al_(2)O_(3) SiN_(x)金属-绝缘体-半导体电容器 界面态密度
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Design of fiber-optic collector for spectrometer based on curved mirror 被引量:1
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作者 ZHUANG Xin-gang WANG Li-li +2 位作者 shao xiu-mei FANG Jia-xiong JIANG Ben-he 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2017年第1期97-102,共6页
To enlarge the detection range of traditional fiber-optic spectrometer,two rotating parabolic mirrors were first used in the design of fiber-optic collector for spectrometer,which can extend the detection range of spe... To enlarge the detection range of traditional fiber-optic spectrometer,two rotating parabolic mirrors were first used in the design of fiber-optic collector for spectrometer,which can extend the detection range of spectrometer from centimeter-scale to50m,as a super-low altitude remote sensing detector under passive lighting conditions.According to the performance requirements of fiber-spectrometer for optical collector,this study deduced the calculation formulae of design size of parabolic optical collector applied to different sensitivity spectrometers,different detection targets,different detection ranges and different weathers.Based on the calculation results,the model of fiber-optic collector with a diameter of16mm and a height of7.8mm was designed by ZEMAX.And then,TracePro,a light simulation software,was applied to ray tracing.The simulation results of optical radiation magnification agrees well with theoretical value,and the relative error is less than0.78%.This optical collector can effectively extend the detection range of spectrometer and expand its application fields and scopes.Compared with traditional refractive optical collector,it has several advantages of compact structure,low weight and low cost. 展开更多
关键词 fiber-optic collector fiber-spectrometer rotating parabolic mirror infrared radiation atmospheric transmission
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不同性别、年龄段老年人腰椎骨密度与尿酸水平的相关性分析
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作者 唐文来 鲁青 +2 位作者 邵秀梅 顾雪英 韩璐 《中国社区医师》 2022年第34期71-73,共3页
目的:探讨不同性别、年龄老年人尿酸水平与腰椎骨密度的相关性。方法:选取2020年6-8月上海市奉贤区奉浦街道社区299例≥60岁且完成体检包括双能X线检查的老年人为研究对象,根据性别分为男性组137例与女性组162例,每组以5岁为梯度划分为6... 目的:探讨不同性别、年龄老年人尿酸水平与腰椎骨密度的相关性。方法:选取2020年6-8月上海市奉贤区奉浦街道社区299例≥60岁且完成体检包括双能X线检查的老年人为研究对象,根据性别分为男性组137例与女性组162例,每组以5岁为梯度划分为60~64岁、65~69岁、70~74岁、>75岁4组,比较不同组尿酸水平与腰椎骨密度的相关性。结果:Pearson相关性分析显示,老年女性组骨密度t值与尿酸值间存在相关性,呈正相关(P<0.05,r=0.292);60~64岁、65~69岁、70~74岁年龄组骨密度t值与尿酸水平呈正相关(P<0.05,r分别为0.309、0.444和0.325)。结论:老年女性组骨密度t值与尿酸值间呈正相关,尤其是65~69岁老年女性。 展开更多
关键词 老年人 腰椎 骨密度 尿酸
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