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毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置多自由度激光干涉计量系统 被引量:13
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作者 施玉书 张树 +4 位作者 连笑怡 李伟 李琪 黄鹭 高思田 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第7期769-774,共6页
准确的纳米几何结构测量是提高集成电路、微纳机电系统和微纳技术产品的质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须实现纳米尺度的量值溯源并建立量值的传递体系。为满足纳米几何结构计量从纳米尺度到毫米尺度的跨尺度... 准确的纳米几何结构测量是提高集成电路、微纳机电系统和微纳技术产品的质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须实现纳米尺度的量值溯源并建立量值的传递体系。为满足纳米几何结构计量从纳米尺度到毫米尺度的跨尺度计量需求,实验室研制了毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置,集成于该装置中的多自由度激光干涉计量系统,实现了测量结果向米定义SI单位的直接溯源。实验结果表明该系统能够在毫米级的测量范围内,实现纳米级的测量准确度,分辨力达到了亚纳米量级。 展开更多
关键词 计量学 纳米几何特征尺寸 多自由度激光干涉系统 激光干涉仪修正 计量标准装置
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AFM扫描过程的模拟及针尖形状反求 被引量:9
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作者 施玉书 连笑怡 +4 位作者 王艺瑄 黄鹭 董明利 胡晓东 高思田 《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第2期177-182,共6页
纳米栅格和台阶等结构的线宽准确测量,是国内外计量领域的研究热点与难点。采用原子力显微镜(AFM)能获得上述结构的三维形貌信息,但其扫描图像却是探针针尖的形貌和被测样品表面的形貌共同作用的结果,这种作用往往导致线宽边缘测量失真... 纳米栅格和台阶等结构的线宽准确测量,是国内外计量领域的研究热点与难点。采用原子力显微镜(AFM)能获得上述结构的三维形貌信息,但其扫描图像却是探针针尖的形貌和被测样品表面的形貌共同作用的结果,这种作用往往导致线宽边缘测量失真。为了更加精确地获得样品的表面形貌特征,首先需要重建探针针尖形貌,进而从得到的扫描图像中尽可能地消除由探针形貌带来的失真影响。基于数学形态学的盲重建理论,利用Matlab对不同形状参数的探针针尖扫描台阶样品表面进行了仿真,评价了探针形状对扫描结果的影响,初步实现了基于真实粗糙测量表面的探针针尖形状重建。 展开更多
关键词 计量学 线宽测量 纳米台阶 原子力显微镜 针尖形状 盲重建
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双相情感障碍患者团体支持性干预后复发率对照研究 被引量:24
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作者 徐良雄 石聿树 +4 位作者 熊昌娥 刘祖松 黄翠萍 曾德志 孟素华 《海南医学》 CAS 2019年第10期1246-1249,共4页
目的研究团体支持性干预对双相情感障碍患者复发率的影响。方法选取2017年6月至2018年6月湖北科技学院附属第二医院精神科收治的80例双相情感障碍患者作为研究对象,按照随机数表法分为对照组和实验组各40例,对照组进行药物治疗,实验组... 目的研究团体支持性干预对双相情感障碍患者复发率的影响。方法选取2017年6月至2018年6月湖北科技学院附属第二医院精神科收治的80例双相情感障碍患者作为研究对象,按照随机数表法分为对照组和实验组各40例,对照组进行药物治疗,实验组在药物治疗同时进行团体支持性干预等心理康复干预,治疗12周。于治疗前后分别采用家庭关怀度指数问卷(APGAR)、汉密尔顿抑郁量表17版本(HAMD-17)、杨氏躁狂评定量表(YMRS)、社会功能缺陷量表(SDSS)和功能检测简版(FAST)对两组患者的家庭环境、精神状态、应对能力、社会功能、总体认知受损进行评定并做统计学分析。结果为期12周团体支持性干预后,实验组患者的APGAR评分为(16.82±2.46)分,明显高于对照组的(6.78±3.76)分,HAMD-17评分为(11.72±2.15)分,明显低于对照组的(20.56±3.56)分,YMRS评分为(16.80±3.45)分,明显低于对照组的(33.17±6.55)分,差异均有统计学意义(P<0.05);实验组SDSS总评分为(6.47±4.82)分,明显低于对照组的(12.25±7.13)分,差异有统计学意义(P<0.05)。在FAST各项因子和总分上,实验组自主生活[(2.92±1.81)分]明显低于对照组[(7.16±1.78)分],职业功能[(6.94±3.35)分]明显低于对照组[(10.27±3.46)分],认知功能[(1.67±1.98)分]明显低于对照组[(11.54±3.12)分],钱财管理[(1.64±0.53)分]明显低于对照组[(3.43±1.97)分],人际关系[(5.08±4.64)分]明显低于对照组[(10.89±3.71)分],休闲[(1.42±1.83)分]明显低于对照组[(5.93±1.75)分],总分[(25.87±11.26)分]明显低于对照组[(46.22±14.14)分],差异均有统计学意义(P<0.05)。结论团体支持性干预能够促进患者控制自己情绪,改善家庭与社会功能,显著降低复发率、提高服药依从性,回归社会。 展开更多
关键词 双相情感障碍 支持性干预 复发率 社会功能 认知功能
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生命意义感对抑郁障碍患者自杀意念的影响 被引量:7
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作者 徐良雄 石聿树 +4 位作者 熊昌娥 刘祖松 黄翠萍 曾德志 孟素华 《海南医学》 CAS 2019年第21期2733-2736,共4页
目的评估生命意义感对抑郁障碍患者自杀意念的影响。方法将2018年1月至2019年1月在湖北科技学院附属第二医院住院治疗的60例抑郁障碍患者,按照随机数表法分对照组和观察组,每组30例。对照组患者采用药物治疗,观察组患者在药物治疗同时... 目的评估生命意义感对抑郁障碍患者自杀意念的影响。方法将2018年1月至2019年1月在湖北科技学院附属第二医院住院治疗的60例抑郁障碍患者,按照随机数表法分对照组和观察组,每组30例。对照组患者采用药物治疗,观察组患者在药物治疗同时进行生命意义感等心理康复干预,时间为12周。干预后分别采用汉密尔顿抑郁量表(HAMD-17)、生命意义量表(MLQ)、Beck自杀意念量表中文版(BSI-CV)对两组患者的精神状态、生命意义感水平及自杀意念水平进行评定并做统计学分析。结果干预后,观察组患者的HAMD-17评分为(10.65±1.15)分,明显低于对照组的(22.36±2.56)分,差异有统计学意义(P<0.05);MLM各个项目中,观察组患者的存在意义感维度评分、寻求意义感维度评分、生活感受维度评分、生活目标维度评分、生活态度维度评分、自主感维度评分均明显高于对照组,差异均有统计学意义(P<0.05);BSI-CV各个项目中,观察组患者的主动自杀意愿评分、具体自杀计划评分、被动自杀意愿评分和总评分明显低于对照组,差异均有统计学意义(P<0.05)。结论生命意义感干预能够很好促进患者管理自己情绪,改善家庭与自杀意念,显著降低自杀意念、提升患者积极情绪和自杀意念,回归社会。 展开更多
关键词 抑郁障碍 情绪管理 生命意义感 自杀意念 回归社会
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基于条件生成式对抗网络的AFM图像盲重构方法 被引量:3
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作者 胡佳成 颜迪新 +3 位作者 曹丛 施玉书 张树 李东升 《计量学报》 CSCD 北大核心 2021年第5期545-551,共7页
针对原子力显微镜(AFM)成像过程中针尖展宽效应引起的误差,提出一种基于条件生成式对抗网络(CGAN)的AFM图像盲重构方法。首先,以pix2pixHD模型为基础,通过全局生成网络对仿真样本数据进行对抗训练,引入AFM测量数据采用局部提升网络联合... 针对原子力显微镜(AFM)成像过程中针尖展宽效应引起的误差,提出一种基于条件生成式对抗网络(CGAN)的AFM图像盲重构方法。首先,以pix2pixHD模型为基础,通过全局生成网络对仿真样本数据进行对抗训练,引入AFM测量数据采用局部提升网络联合训练;最后,特征匹配损失函数以用于提升栅格边缘横向分辨力。实验结果表明:对于线宽8μm一维矩形栅格在AFM下的测量图像进行盲重构,重构图像标准差为0.33μm×0.45μm,具有较高的成像分辨力,有利于提升AFM图像一维栅格测量的准确度。 展开更多
关键词 计量学 图像重构 针尖展宽效应 原子力显微镜 条件生成式对抗网络 一维栅格
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低噪声触针式表面粗糙度探测系统及测量不确定度分析 被引量:4
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作者 史舟淼 张树 +2 位作者 施玉书 皮磊 胡佳成 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第9期1122-1127,共6页
为了提升现有触针式表面粗糙度测量仪的计量能力,从降低仪器噪声水平的角度出发,研制了具有低噪声、无阿贝误差特性的触针式表面粗糙度探测系统。该系统采用样品扫描的方式进行接触测量,利用高精度电容传感器对触针的垂直运动进行实时测... 为了提升现有触针式表面粗糙度测量仪的计量能力,从降低仪器噪声水平的角度出发,研制了具有低噪声、无阿贝误差特性的触针式表面粗糙度探测系统。该系统采用样品扫描的方式进行接触测量,利用高精度电容传感器对触针的垂直运动进行实时测量,从而表征被测物的真实微观表面,实现了纳米尺度测量下的低噪声水平。系统使用校准触针式表面粗糙度测量仪的标准样板进行R_(a)测量和不确定度评估,结果表明:对Type C3标准样板测量的扩展不确定度U=2.8 nm(k=2)。 展开更多
关键词 计量学 表面粗糙度 触针式测量仪 低噪声探测系统 Type C3标准样板 不确定度
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计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究 被引量:3
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作者 黎雄威 李琪 +5 位作者 纪峰 李适 李伟 黄鹭 施玉书 皮磊 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第5期571-577,共7页
为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准... 为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差<0.05°,偏摆角偏差<0.09°;校准后,对标称值为102.10 nm的Si上SiO_(2)膜厚标准片进行测量,示值误差<0.4 nm,提升了计量型激光椭偏仪测量校准服务的准确性。 展开更多
关键词 计量学 计量型激光椭偏仪 椭偏测量 初始入射角 校准 微纳米薄膜
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适用于TERS系统的金修饰钨丝探针制备和研究 被引量:3
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作者 都伯林 高思田 +2 位作者 黄鹭 施玉书 曲兴华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第12期1456-1460,共5页
提出了一种适用于针尖增强拉曼光谱(TERS)系统的金修饰钨丝探针,研究了其制备方法。有限元仿真设计了针尖的形状为内弧形针尖,并进行二氧化硅粘结层和金颗粒外层双镀膜结构纳米修饰;通过调节实验室自主研制的电化学腐蚀探针装置的溶液... 提出了一种适用于针尖增强拉曼光谱(TERS)系统的金修饰钨丝探针,研究了其制备方法。有限元仿真设计了针尖的形状为内弧形针尖,并进行二氧化硅粘结层和金颗粒外层双镀膜结构纳米修饰;通过调节实验室自主研制的电化学腐蚀探针装置的溶液浓度、电机位移和浸入深度制备符合形状要求的钨丝针尖;在此基础上,通过电感耦合等离子体化学气相沉积技术(ICP-CVD)进行二氧化硅涂层镀制,电子束加热物理气象沉积技术(EB-PVD)进行金涂层镀制。最终完成该探针制备,双层镀膜后针尖曲率半径达30~80 nm,可用于TERS研究。 展开更多
关键词 计量学 钨探针 针尖增强拉曼光谱 纳米颗粒修饰
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基于迁移学习的原子力显微镜成像恢复方法
9
作者 胡佳成 颜迪新 +2 位作者 施玉书 黄鹭 李东升 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期214-222,共9页
受限于探针针尖结构尺寸,用原子力显微镜进行微纳测量时会产生图像边缘失真.提出了一种基于迁移学习的原子力显微镜成像恢复方法,通过迁移学习训练源模型和靶模型实现一维栅格成像恢复.该方法采用数学形态法中的腐蚀算法生成栅格点云数... 受限于探针针尖结构尺寸,用原子力显微镜进行微纳测量时会产生图像边缘失真.提出了一种基于迁移学习的原子力显微镜成像恢复方法,通过迁移学习训练源模型和靶模型实现一维栅格成像恢复.该方法采用数学形态法中的腐蚀算法生成栅格点云数据,通过U-Net网络源模型从点云中提取针尖卷积效应的特征向量,将权重参数迁移至U-Net网络靶模型,靶模型在自适应正则化方法下进行监督学习.实验结果表明,该方法能有效恢复一维栅格的原子力显微镜测量图像,提高横向分辨力,可用于纳米栅格的线宽检测上. 展开更多
关键词 原子力显微镜 三维点云 成像恢复 迁移学习 盲去卷积
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Three-dimensional atomic force microscopy based on tailored cantilever probe with flared tip
10
作者 ZHANG Rui WU Sen +3 位作者 XIAO Sha-sha HU Xiao-dong shi yu-shu FU Xing 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2020年第4期388-396,共9页
In order to meet the requirements of nondestructive testing of true 3D topography of micro-nano structures,a novel three-dimensional atomic force microscope(3D-AFM)based on flared tip is developed.A high-precision sca... In order to meet the requirements of nondestructive testing of true 3D topography of micro-nano structures,a novel three-dimensional atomic force microscope(3D-AFM)based on flared tip is developed.A high-precision scanning platform is designed to achieve fast servo through moving probe and sample simultaneously,and several combined nanopositioning stages are used to guarantee linearity and orthogonality of displacement.To eliminate the signal deviation caused by AFM-head movement,a traceable optical lever system is designed for cantilever deformation detection.In addition,a method of tailoring the cantilever of commercial probe with flared tip is proposed to reduce the lateral force applied on the tip in measurement.The tailored probe is mounted on the 3D-AFM,and 3D imaging experiments are conducted on different samples by use of adaptive-angle scanning strategy.The results show the roob-mean-square value of the vertical displacement noise(RMS)of the prototype is less than 0.1 nm and the high/width measurement repeatability(peak-to-peak)is less than 2.5 nm. 展开更多
关键词 three-dimensional atomic force microscope(3D-AFM) flared tip SCANNER optical lever vector scanning
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Precise measurement of gold nanorods by using depolarized dynamic light scattering apparatus 被引量:2
11
作者 CUI Zhen HUANG Lu +5 位作者 SUN Miao GAO Si-tian CAI Jin-hui LI Wei shi yu-shu LI Qi 《Optoelectronics Letters》 EI 2021年第3期170-175,共6页
A precise and noninvasive method for the size and shape measurement of gold nanorods(GNRs) has been proposed based on depolarized dynamic light scattering(DDLS). A home-made DDLS apparatus has been established. By app... A precise and noninvasive method for the size and shape measurement of gold nanorods(GNRs) has been proposed based on depolarized dynamic light scattering(DDLS). A home-made DDLS apparatus has been established. By applying depolarized optical path with precise alignment method, the signal-to-noise ratio(SNR) of this apparatus is highly improved. GNRs with three different diameter and length has been precisely measured by using DDLS method as well as scanning electron microscopy(SEM). The thickness of adsorption layer of cetyltrimethylammonium bromide(CTAB) in solution has been taken into consideration. Results show that size measurement of GNRs by using DDLS method agrees very well with that by using SEM. In addition, it is shown that the extinction spectroscopy strongly limited the application of DDLS method by affecting the effective scattering light intensity. Proper laser wavelength should be chosen before the application of this method. 展开更多
关键词 apparatus SCATTERING POLARIZED
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