一个高密度连续射流团簇离子束源

根据在喷嘴出口附近用电子枪来电离产生离子种子，在射流中形成连续、高密度的团簇离子束的设计思想，建造了连续的团簇离子束源。探索并优化了影响团簇离子束质量的因素，如电子枪的位置、滤束器的结构、滤束器与喷嘴间的距离等。初步研究了进气配比对氮氩团簇离子形成的影响。以氩气作载体，适量的氮气，有于Ａｒ－Ｎ＋２的形成。