正弦相位调制菲索干涉仪

<正> 一、前言菲索干涉仪对于光学系统中发生的摆振问题是不敏感的,而且它可方便地用于大直径物体表面轮廓的测量。这两个优点对于高达1nm量级的高准确度表面轮廓的测量特别重要。如果我们用一台泰曼-格林干涉仪测量一大直径物体,如直径80mm 平板玻璃的表面轮廓。