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一种用于制备纳米SiC/Si_3N_4复合粉体的CVD新工艺的热力学分析(英文)
1
作者 全学军 shoichikimura 《中国粉体技术》 CAS 2000年第6期14-20,共7页
综述了SiC/Si3 N4 复合粉体的力学性能和制备方法 ,提出了一种制备纳米级SiC/Si3 N4 复合粉体的新方法 。
关键词 碳化硅 氮化硅 复合粉体 化学气相沉积工艺 热力学分析 复合陶瓷
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