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电子级气体中的粒子 被引量：1
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作者 terry francis 张洪雁 《低温与特气》 CAS 1987年第1期17-24,共8页
本报告的目的是研究:气体主流及气体输配系统中的粒子和粒子源;对粒子源的控制及消除方法;在线实际过滤器的使用;保护必需设置的输配系统,预防污染;作为污染源的过滤器。
关键词 气体 电子级 输配系统 消除方法 预防污染 过滤器 粒子源 污染源
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