掩埋异质结构DFB激光器的液相外延生长

采用液相外延方法制作了平坦表面掩埋异质结构分布反馈激光器二极管。要改进激光器的特性,需要解决三方面的困难。第一个困难是在波纹上面的InGaAsP光波导层内形成许多小坑。另外两个困难是波纹的热变形以及沿台面边缘流动的漏泄电流。采用氧等离子体工艺清洁波纹表面解决了第一个困难。采用表面粗糙的GaAs平板片覆盖住波纹,减少了波纹的热变形。用一种新型腐蚀剂腐蚀台面,减小了漏泄电流。