提高平板显示屏镀膜应用中的靶材利用率

平板显示屏的经济生产，不仅要求可靠的工艺技术，而且绝对要求较高的靶利用率。本文介绍了在保持ＩＴＯ工艺的标准阴极法所获得的膜特性基础上，用移动磁场的方法可以获得＞５０％的靶利用率。