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水平排列硅光二极管色传感器及其特性
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作者 阮刚 T.Otto +1 位作者 u.fritzsch C.Radehaus 《复旦学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期263-267,共5页
简要介绍水平排列硅光二极管色传感器的制作工艺.该器件波长在500nm到650nm范围内有一个单调的近于线性的光谱响应.入射光波长为600nm时,入射光强变化五个数量级,测出的波长基本不变.器件波长分辨率、最低入射光强、长时间测量的... 简要介绍水平排列硅光二极管色传感器的制作工艺.该器件波长在500nm到650nm范围内有一个单调的近于线性的光谱响应.入射光波长为600nm时,入射光强变化五个数量级,测出的波长基本不变.器件波长分辨率、最低入射光强、长时间测量的波长漂移以及波长温漂系数等特性的测量结果表明:该类色传感器已达高性能实用要求. 展开更多
关键词 色传感器 硅光二极管 HRCS 工作原理 传感器
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