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XPS和TOF-SIMS在硬盘驱动器(HDD)磁头表面微污染分析中的应用 被引量：3
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作者 刘义为 Moulder J F +2 位作者 vlasak p r 蒋致诚 JIANG Zhi-cheng 《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期59-61,共3页
XPS和 TOF- SIMS表面分析仪器联用分析磁头臂焊接位表面有机微污染物成分 ,找出污染物的来源 ;XPS能够提供污染物中元素组成及价态信息 ,而 TOF- SIMS能够提供其分子信息。试验证明两者联用是分析表面有机微污染物强有力的手段。
关键词 XPS TOF-SIMS 硬盘驱动器 磁头 磁臂焊接位 表面有机微污染物 分析方法
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