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AlGaN/GaN HEMT器件高温栅偏置应力后栅极泄漏电流机制分析
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作者 陈欢欢 张贺秋 +9 位作者 邢鹤 夏晓川 张振中 蔡涛 叶宇帆 郭文平 席庆南 黄慧诗 梁晓华 梁红伟 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期90-95,共6页
AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的栅特性会受到温度应力和电应力的影响.在高温栅偏置(HTGB)应力下,器件的栅特性会发生退化,如栅极泄漏电流增大.为了研究退化机理,分析了AlGaN/GaN HEMT在栅电压为-2 V时,250℃高温应力作用后的栅极... AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的栅特性会受到温度应力和电应力的影响.在高温栅偏置(HTGB)应力下,器件的栅特性会发生退化,如栅极泄漏电流增大.为了研究退化机理,分析了AlGaN/GaN HEMT在栅电压为-2 V时,250℃高温应力作用后的栅极泄漏电流机制.随着HTGB时间的增加,栅极泄漏电流持续增大,受到应力器件在室温下静置后栅极泄漏电流密度恢复约20%.结果表明,在正向偏置范围内,栅极泄漏电流是由热电子发射(TE)引起的.在反向偏置范围内,普尔-弗伦克尔(PF)发射在小电压范围内占主导地位.阈值电压附近的范围由势垒层中的陷阱辅助隧穿(TAT)引起;在大电压范围内,福勒-诺德海姆(FN)隧穿导致栅极发生泄漏. 展开更多
关键词 AlGaN/GaN HEMT 高温栅偏置应力 栅极泄漏电流机制
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激光切管机行业标准解读
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作者 夏小川 曾丽霞 《电加工与模具》 2023年第S01期47-49,共3页
JB/T 14188《激光切管机》是一部关于激光切管机的推荐性机械行业标准,包括精度检验和技术规范两个部分,由工信部于2022年4月8日发布,2022年10月1日实施。通过介绍该标准起草的目的和意义、使用范围及主要内容,以及对精度检验和技术规... JB/T 14188《激光切管机》是一部关于激光切管机的推荐性机械行业标准,包括精度检验和技术规范两个部分,由工信部于2022年4月8日发布,2022年10月1日实施。通过介绍该标准起草的目的和意义、使用范围及主要内容,以及对精度检验和技术规范的部分重要标准条款进行解读与分析,可为我国激光切管机生产企业提升产品质量提供借鉴与帮助。 展开更多
关键词 激光切管机 精度检验 技术规范
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双异质结薄膜制备及激光器件综合实验设计 被引量:1
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作者 陶鹏程 周新磊 +5 位作者 徐潇宇 梁红伟 夏晓川 黄火林 韩秀友 郑佳玥 《实验科学与技术》 2021年第5期69-73,共5页
第三代新型半导体材料是支撑5G通信技术、新能源汽车和光电应用等领域发展的核心材料。为了激发学生对科学探索的兴趣,设计了双异质结薄膜制备及激光器件特性表征的综合实验。该实验包括利用化学有机气相沉积技术制备双异质结薄膜、泵... 第三代新型半导体材料是支撑5G通信技术、新能源汽车和光电应用等领域发展的核心材料。为了激发学生对科学探索的兴趣,设计了双异质结薄膜制备及激光器件特性表征的综合实验。该实验包括利用化学有机气相沉积技术制备双异质结薄膜、泵浦激光器件制作及光电性能表征等,实验内容新颖,涵盖知识点丰富。实践证明,综合实验让学生在实验方案设计、实验设备操作、数据处理分析和科研论文撰写等方面的能力得到显著提升。 展开更多
关键词 综合型实验 异质结 激光器件 实验教学
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AlN薄膜制备与表征研究型实验设计 被引量:1
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作者 陶鹏程 梁红伟 +1 位作者 夏晓川 黄火林 《实验科学与技术》 2020年第3期118-122,共5页
将科研成果转化为研究型本科实验教学内容,设计了不同极性AlN薄膜的制备及表征综合实验。采用金属有机化学气相沉积方法制备混合极性、N极性和Al极性的AlN薄膜,研究了不同极性对AlN薄膜表面形貌和晶体质量的影响。研究结果表明,将渐变组... 将科研成果转化为研究型本科实验教学内容,设计了不同极性AlN薄膜的制备及表征综合实验。采用金属有机化学气相沉积方法制备混合极性、N极性和Al极性的AlN薄膜,研究了不同极性对AlN薄膜表面形貌和晶体质量的影响。研究结果表明,将渐变组分AlGaN极性调控层引入到GaN和AlN外延膜之间,AlN薄膜转变为单一Al极性生长,高分辩X射线衍射摇摆曲线(002)和(102)的半峰宽分别为375 arcsce和420 arcsce。该实验激发了学生对科学研究的兴趣,深入学习薄膜材料的制备及表征方法,培养了学生积极探索的创新实践能力。 展开更多
关键词 氮化铝薄膜 研究型实验 实验教学 宽带隙半导体
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Pd/Pt修饰的AlGaN/GaN HEMT器件氢传感特性研究
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作者 杨勇强 张贺秋 +6 位作者 薛东阳 梁红伟 夏晓川 徐瑞良 梁永凤 韩永坤 陈帅昊 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期531-536,共6页
制备了Pd/Pt修饰的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)器件.对器件的氢传感特性测试表明,Pd/Pt合金修饰的器件的氢响应和响应(恢复)速率要优于Pd和Pt单独修饰的器件,Pd和Pt质量比为2 mg∶1 mg的氢传感器具有最佳的氢传感性能.对吸附平... 制备了Pd/Pt修饰的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)器件.对器件的氢传感特性测试表明,Pd/Pt合金修饰的器件的氢响应和响应(恢复)速率要优于Pd和Pt单独修饰的器件,Pd和Pt质量比为2 mg∶1 mg的氢传感器具有最佳的氢传感性能.对吸附平衡的稳态分析进一步证实了这一结论.室温下氢体积分数为0.1%,氢气通入流速为200 mL/min时,Pd/Pt(2 mg∶1 mg)样品的电流变化为0.249 mA,响应时间和恢复时间分别为41 s和42 s.此外,测试温度增加到55℃也进一步提高了器件对氢气的响应和响应速率. 展开更多
关键词 ALGAN/GAN高电子迁移率晶体管 Pd/Pt合金 氢传感器 氢吸附
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AlGaN/GaN HEMT器件的高温小信号模型分析
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作者 韩永坤 张贺秋 +7 位作者 陈帅昊 薛东阳 刘力涛 徐瑞良 梁永凤 梁红伟 夏晓川 梁晓华 《中国科技论文在线精品论文》 2021年第2期253-260,共8页
基于GaN材料的耐高温、抗辐照等优越特性,使其与Si材料相比,更适用于航空航天以及太空探测领域.本文采用AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)作为探测器的前置放大电路,并测试了HEMT器件在不同工作温... 基于GaN材料的耐高温、抗辐照等优越特性,使其与Si材料相比,更适用于航空航天以及太空探测领域.本文采用AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(high electron mobility transistor,HEMT)作为探测器的前置放大电路,并测试了HEMT器件在不同工作温度时的S参数,对器件的小信号模型参数进行提取,得出AlGaN/GaN HEMT器件小信号等效高温电路模型的参数变化.结果表明,温度升高对器件小信号模型的本征参数会有很大的影响,因此高温情况下的小信号建模仍然必不可少. 展开更多
关键词 半导体技术 高电子迁移率晶体管 高温 小信号模型 参数提取
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第三代半导体辐射探测器研究进展 被引量:4
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作者 梁红伟 廖传武 +4 位作者 夏晓川 龙泽 耿昕蕾 牛梦臣 韩中元 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第14期69-82,共14页
以氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)、金刚石等为代表的第三代半导体具有大的禁带宽度、高击穿电场、高饱和电子速率、高热导率以及具有高的位移阈能,耐高温、耐辐照能力,在核装置运行监测、空间探测、高能粒子物理探测等领域具有重要的应用潜... 以氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)、金刚石等为代表的第三代半导体具有大的禁带宽度、高击穿电场、高饱和电子速率、高热导率以及具有高的位移阈能,耐高温、耐辐照能力,在核装置运行监测、空间探测、高能粒子物理探测等领域具有重要的应用潜力。介绍了第三代半导体的相关性质、辐射探测器主要制备方法以及不同类型辐射探测器的研究进展,展望了第三代半导体在辐射探测方面的发展趋势。提出第三代半导体辐射探测器的出现必然会促进核科学、空间探测、粒子及高能物理等方面的研究,对于国家提升核心竞争力具有重要的推动作用。 展开更多
关键词 第三代半导体 辐射探测器 耐高温 耐辐照 宽禁带半导体
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辐照后4H-SiC带电粒子探测器的特性研究 被引量:2
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作者 韩冲 崔兴柱 +7 位作者 梁晓华 梁红伟 夏晓川 杨存 叶鑫 唐吉龙 王登魁 魏志鹏 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期47-52,共6页
碳化硅材料因其禁带宽度大、晶体原子离位能高等物理特性,被视为制作耐高温、抗辐射器件极具代表性的宽带隙半导体材料。为观察辐照对4H-SiC肖特基二极管带电粒子探测器的电学特性及对α粒子响应的能量分辨率的影响。利用60Co源的γ射线... 碳化硅材料因其禁带宽度大、晶体原子离位能高等物理特性,被视为制作耐高温、抗辐射器件极具代表性的宽带隙半导体材料。为观察辐照对4H-SiC肖特基二极管带电粒子探测器的电学特性及对α粒子响应的能量分辨率的影响。利用60Co源的γ射线对4H-SiC肖特基二极管探测器进行辐照实验。经过总剂量为1 000 kGy的γ射线辐照后,探测器的正向电流相较于辐照前减小了三个数量级;反向电流值在0~120 V偏压下没有明显变化,当反向偏压高于120 V时,反向电流值变化明显。同时,辐照前后对α粒子的能量分辨率没有明显变化。 展开更多
关键词 4H-SIC 肖特基二极管 Γ射线 探测器 电学特性 能量分辨率
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Comparative investigation of three types of ethanol sensor based on NiO-SnO_2 composite nanofibers 被引量:5
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作者 SHEN RenSheng LI xiangPing +5 位作者 xia xiaochuan LIANG HongWei WU GuoGuang LIU Yang CHENG ChuanHui DU GuoTong 《Chinese Science Bulletin》 SCIE CAS 2012年第17期2087-2093,共7页
NiO-SnO2 composite nanofibers were synthesized via electrospinning techniques and characterized by X-ray diffraction,scanning electron microscopy,transmission electron microscopy,and X-ray photoelectron spectroscopy.T... NiO-SnO2 composite nanofibers were synthesized via electrospinning techniques and characterized by X-ray diffraction,scanning electron microscopy,transmission electron microscopy,and X-ray photoelectron spectroscopy.Three types of sensor were applied to investigate the sensing properties of these nanofibers.Sensors A were fabricated by mixing the nanofibers with deionized water,and then grinding and coating them on ceramic tubes to form indirect heated gas sensors.Microsensors B(with an area of 600 μm×200 μm) were formed by spinning nanofibers on Si substrates with Pt signal electrodes and Pt heaters.Sensors C were fabricated by spinning nanofibers on plane ceramic substrates(with a large area of 13.4 mm×7 mm) with Ag-Pd signal electrodes only.The operating temperatures of sensors A and B were controlled by adjusting heater currents,and the operating temperatures of sensors C were controlled by adjusting an external temperature control device.Experimental results show that sensors C possess the highest sensing properties,such as high response values(about 42 to 100 μL/L ethanol),quick response/recovery speeds(the response and recovery times were 4 and 7 s,respectively),and excellent consistencies.These phenomena were explained by the retained fiber morphology and suitable sensor area.The presented results can provide some useful information for the design and optimization of one-dimensional nanomaterial-based gas sensors. 展开更多
关键词 复合纳米纤维 乙醇传感器 SNO2 类型 NIO 温度控制装置 X射线光电子能谱 扫描电子显微镜
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Selective Growth of GaN on Slope Cone-shaped Patterned Sapphire Substrate
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作者 YANG Dechao LIANG Hongwei +8 位作者 QIU Yu LI Pengchong LIU Yang SHEN Rensheng xia xiaochuan YU Zhennan CHANG Yuchun ZHANG Yuantao DU Guotong 《Chemical Research in Chinese Universities》 SCIE CAS CSCD 2014年第4期556-559,共4页
Cone-shaped patterned sapphire substrate was prepared by inductively coupled plasma etching and GaN nucleation layer was grown on it by metal-organic chemical vapor deposition.A selective growth of GaN nucleation laye... Cone-shaped patterned sapphire substrate was prepared by inductively coupled plasma etching and GaN nucleation layer was grown on it by metal-organic chemical vapor deposition.A selective growth of GaN nucleation layer was found on the slope of the cone-shaped patterned sapphire substrat,and the distribution morphology of GaN had significantly changed after it was recrystallized.GaN selective growth and redistribution were analyzed by investigating the distribution of crystallographic planes on the cone surface and the atom array of specific planes at atom level. 展开更多
关键词 Patterned sapphire substrate GAN Selective growth Crystallographic plane
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