滑动导轨等部件的微动态特性

1.简介 这份报告给出了关于传统的滑动导轨系统的一些实验结果,同时论及了机构的精密运动控制。 这些年来,诸如导轨、丝杠和其他驱动机构等机械部件的微动态特性,换句话说,就是在很小位移范围内的非线性传递特性。已成为精密机械工程研究的首要问题。超精密仪器、机床和半导体生产系统都对机械部件的控制精度提出了越来越高的要求。