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芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计 被引量:1
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作者 刘召军 李坤 +3 位作者 李云超 胡旭文 闫树斌 张彦军 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第6期410-414,420,共6页
芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(I... 芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(ITO)加热玻璃。温度是影响CSAC稳定度的一个重要因素,解决了CSAC系统气室温控的加热不均匀问题,温控精度达到了0.10℃,达到了CSAC温控精度优于0.15℃的要求。通过饱和吸收光谱实验,获得了明显的饱和吸收谱线。实验结果为高性能CSAC的研究提供了参考。 展开更多
关键词 芯片原子钟(CSAC) 数字温控 饱和吸收 微电子机械系统(MEMS)原子气室 氧化铟锡(ITO)加热玻璃
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一种高性能带有幅度测量的CMOS电压控制振荡器的设计 被引量:2
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作者 蒋行舟 张国琴 +1 位作者 闫树斌 吴秀山 《电子器件》 CAS 北大核心 2021年第4期812-816,共5页
设计了一种高性能的拥有开关电容阵列的电压控制振荡器以满足通信系统宽频的要求。基于建立的等效电路模型,推导了开关电容阵列的电压控制振荡器的相位噪声产生机理,为了测量输出信号的幅度并判断振荡电路能否正常工作,设计了一种振荡... 设计了一种高性能的拥有开关电容阵列的电压控制振荡器以满足通信系统宽频的要求。基于建立的等效电路模型,推导了开关电容阵列的电压控制振荡器的相位噪声产生机理,为了测量输出信号的幅度并判断振荡电路能否正常工作,设计了一种振荡信号幅度测量电路。基于TSMC 0.18μm的CMOS工艺实现了电路的验证与流片,制成的芯片面积为1.1 mm×0.9 mm,测量的振荡频率为2.602 GHz~3.375 GHz,实现的相位噪声在最低和最高频率时分别为-125.68 dBc/Hz@1 MHz和-121.25 dBc/Hz@1 MHz,在1.8 V的供电下功耗为3.06 mW,电路的优值分别为-189.2 dB和-187.1 dB。 展开更多
关键词 电压控制振荡器 相位噪声 变容管 电容阵列 幅度测量
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芯片级铯原子钟MEMS气室的气密性封装 被引量:1
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作者 王锦曦 闫树斌 +4 位作者 苏浩 杨啸宇 罗云霞 郭京 华尔天 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第4期342-349,共8页
为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密性好的气室结构,氦气真空泄漏率小于5.0×10^... 为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密性好的气室结构,氦气真空泄漏率小于5.0×10^(-9)Pa·cm^(3)/s。采用L-Edit软件设计掩膜版,通过光刻工艺在光刻胶上制作所需图形,采用感应耦合等离子体刻蚀(ICPE)法将结构转移到硅片表面,刻蚀出微通道和两个腔室,其中一个腔室为反应腔,另一个为光学腔。通过低温阳极键合工艺封装原子气室,划片后即可得到玻璃-硅-玻璃三明治结构的气室。按照GJB548A-96标准(方法1014.2密封)的相关规定对MEMS气室先后进行了氦气细检和氟油粗检,测试结果验证了工艺的适用性,成品率达到96.08%。同时,搭建实验平台,测试了吸收谱线,得到了良好的谱线图。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 芯片级原子钟(CSAC) 微通道 铯(Cs)原子气室 气密性
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相干布局囚禁原子钟原子气室内部缓冲气体组分的优化 被引量:2
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作者 李云超 胡旭文 +5 位作者 张璐 刘召军 张开放 牟仕浩 闫树斌 张彦军 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第12期30-35,共6页
频率稳定度是评价相干布局囚禁(CPT)原子钟性能的重要指标,而原子气室内部缓冲气体的种类及其气压比是影响CPT原子钟频率稳定度的主要因素。选用Ar与N2为缓冲气体,从理论上对其温度频移特性进行仿真分析,并在不同缓冲气体气压比例的条... 频率稳定度是评价相干布局囚禁(CPT)原子钟性能的重要指标,而原子气室内部缓冲气体的种类及其气压比是影响CPT原子钟频率稳定度的主要因素。选用Ar与N2为缓冲气体,从理论上对其温度频移特性进行仿真分析,并在不同缓冲气体气压比例的条件下实验测量了CPT原子钟的温度频移特性。根据理论与实验结果确定了原子气室内部缓冲气体最佳的比例,并给出了与之对应的最小温度频移工作点。研究结果对设计CPT原子钟原子气室内部的缓冲气体气压比及其工作温度具有借鉴作用。 展开更多
关键词 原子与分子物理 原子钟 原子气室 频率稳定度 温度频移
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Characterizing optical dipole trap via fluorescence of trapped cesium atoms 被引量:4
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作者 LIU Tao GENG Tao +5 位作者 yan shubin LI Gang ZHANG Jing WANG Junmin PENG Kunchi ZHANG Tiancai 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2006年第3期273-280,共8页
Optical dipole trap(ODT)is becoming an important tool of manipulating neu-tral atoms.In this paper ODT is realized with a far-off resonant laser beam strongly fo-cused in the magneto-optical trap(MOT)of cesium atoms.T... Optical dipole trap(ODT)is becoming an important tool of manipulating neu-tral atoms.In this paper ODT is realized with a far-off resonant laser beam strongly fo-cused in the magneto-optical trap(MOT)of cesium atoms.The light shift is measured by simply monitoring the fluorescence of the atoms in the magneto-optical trap and the opti-cal dipole trap simultaneously.The advantages of our experimental scheme are discussed,and the effect of the beam waist and power on the potential of dipole trap as well as heating rate is analyzed. 展开更多
关键词 magneto-optical trap optical dipole trap cold atom light shift.
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环丙沙星和左氧氟沙星先后应用致心室颤动
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作者 闫树斌 刘晓 卜一珊 《药物不良反应杂志》 CSCD 2020年第9期543-544,共2页
1例86岁男性患者因肺炎、呼吸衰竭、痰细菌培养提示多重耐药铜绿假单胞菌感染,接受美罗培南(1 g静脉滴注、1次/12 h)联合乳酸环丙沙星氯化钠注射液(200 mg静脉滴注、1次/d)治疗。治疗第4天,患者突发血压下降,脉搏测不出,心电监护提示心... 1例86岁男性患者因肺炎、呼吸衰竭、痰细菌培养提示多重耐药铜绿假单胞菌感染,接受美罗培南(1 g静脉滴注、1次/12 h)联合乳酸环丙沙星氯化钠注射液(200 mg静脉滴注、1次/d)治疗。治疗第4天,患者突发血压下降,脉搏测不出,心电监护提示心室颤动(室颤)。给予电除颤及胺碘酮治疗后恢复窦性心律。次日再发3次室颤,急查电解质结果均正常,心电图检查示QT间期正常,停用环丙沙星,改为美罗培南联合磷霉素治疗,未再发生室颤。26 d后,患者肺炎加重,痰细菌培养回报仍为多重耐药铜绿假单胞菌,对环丙沙星敏感,对左氧氟沙星中度敏感。遂给予美罗培南(剂量用法同前)联合左氧氟沙星注射液(200 mg静脉滴注、1次/d)。治疗第5天,患者再次发生室颤,经电除颤及胺碘酮治疗后心律恢复正常。停用左氧氟沙星,改为美罗培南联合磷霉素,患者未再出现室颤。考虑患者的室颤可能与环丙沙星和左氧氟沙星有关。 展开更多
关键词 环丙沙星 左氧氟沙星 心室颤动
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