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直流磁控溅射制备锐钛矿TiO2薄膜生长速率的研究及其在多层膜制备中的应用 被引量:5
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作者 王朝勇 李伟 +7 位作者 王凯宏 李宗泽 刘志清 余晨生 王新练 王小妮 吴昊 马培芳 《真空》 CAS 2020年第5期19-23,共5页
利用直流磁控溅射技术(DCMS)制备锐钛矿TiO2薄膜,研究了工艺参数中的衬底温度、压强和溅射功率对TiO2薄膜的沉积速率的影响,利用场发射扫描电镜(FESEM)、X射线衍射仪(XRD)和椭圆偏振光测试仪表征了样品的表面形貌、结构和膜厚,实验结果... 利用直流磁控溅射技术(DCMS)制备锐钛矿TiO2薄膜,研究了工艺参数中的衬底温度、压强和溅射功率对TiO2薄膜的沉积速率的影响,利用场发射扫描电镜(FESEM)、X射线衍射仪(XRD)和椭圆偏振光测试仪表征了样品的表面形貌、结构和膜厚,实验结果表明:利用DMS制备薄膜为单一的的锐钛矿结构,表面组成颗粒均匀。随着沉积温度的增加,薄膜的沉积速率从100℃的2.16nm/min增加至400℃的4.03nm/min;压强增加,薄膜的沉积速率降低,0.75Pa、1.5Pa和3.0Pa条件下的沉积速率分别为4.48nm/min、3.18nm/min和2.42nm/min;溅射功率增加,沉积速率提高,100W、295W和443W对应的沉积速率分别为2.95nm/min、3.18nm/min和7.50nm/min。最后用TFC膜系设计软件在玻璃基底上设计了双层TiO2薄膜,利用设计结果制备了薄膜,实验值和理论设计结果非常吻合。 展开更多
关键词 磁控溅射 锐钛矿TIO2 溅射速率 椭偏法
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Synthesis, Crystal Structure, Antifungal Activity and Computational Study on 4-(((8-Chloro-3-oxo-[1,2,4]-triazolo[4,3-a]pyridin-2(3H)-yl)thio)methyl)benzonitrile
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作者 MU Jin-Xia yu chen-sheng +1 位作者 MIN Li-Jing LIU Xing-Hai 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2021年第4期424-430,405,共8页
1,2,4-Triazolo[4,3-a]pyridine(TP) is a key intermediate in pesticides, materials and medicines. The title compound 4-(((8-chloro-3-oxo-[1,2,4]triazolo[4,3-a]pyridin-2(3 H)-yl)thio)methyl)benzonitrile was synthesized v... 1,2,4-Triazolo[4,3-a]pyridine(TP) is a key intermediate in pesticides, materials and medicines. The title compound 4-(((8-chloro-3-oxo-[1,2,4]triazolo[4,3-a]pyridin-2(3 H)-yl)thio)methyl)benzonitrile was synthesized via three steps, and its structure was characterized by ^(1)H NMR, HRMS and X-ray diffraction. Single-crystal X-ray diffraction reveals that it crystallizes in the monoclinic system, space group P21/c. Four TP molecules in the symmetric unit are linked through the O–H···O and O–H···N hydrogen bonding interactions via two H2O molecules along with two π-π interactions. The preliminary antifungal activity results indicated that the compound TP exhibited good activities. Theoretical calculation was carried out by DFT method using the 6-31 G basis set. 展开更多
关键词 1 2 4-triazolo[4 3-a]pyridine SYNTHESIS crystal structure antifungal activity DFT
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