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负离子源及其应用 被引量:1
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作者 yoshiharu mori Junzo Ishikawa 罗应明 《微细加工技术》 1993年第2期82-88,共7页
本文简要介绍了近年研制出的几种主要类型负离子源及其工作原理,重点是等离子溅射型重金属负离子源。概述了这些负离子源在材料科学中的应用前景,如离子注入和薄膜淀积等。
关键词 离子束 等离子体 溅射 负离子源
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