空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO_2薄膜(下)

图4a和4b分别为在UV-近红外光谱，刚沉积和经后退火工艺两种情况下的TiO2膜。以上两种情况在可见光区域透射比几乎相同，与后退火无关。O2流量为10～50sccm时，沉积的TiO2膜在可见光区域具有的高透射比约为0．70。

空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO_2薄膜(上)

光催化剂TiO2薄膜是用两个平行Ti靶的空心阴极气流溅射方法沉积而成,氩气和氧气流量分别是3000 sccm和0～ 50 sccm,在沉积过程中总气压维持在45 Pa.在氧气流量为30 sccm时,TiO2膜最大沉积率为162 nm/min,之后在空气中300℃,1h进行退火工艺,用来作光催化分解乙醛（CH3CHO）,和一般反应溅射相比,后退火膜显示出非常高的光催化作用.