应用于前沿技术节点的集成生产覆盖逐场控制

随着前沿HVM流程节点中不断应用光刻和193nm浸没式多重图形技术,逻辑设备的关键层生产覆盖要求几乎已经达到了扫描仪硬件性能的极限。为了满足HVM生产环境极端覆盖的要求,本次研究调查了前沿技术节点的一个新集成覆盖控制构想,它将运行到运行(R2R)线性或高阶控制回路、周期逐场或每曝光校正(CPE)晶圆流程标记控制回路,以及扫描仪基线控制回路结合,应用到晶圆厂主机APC系统的一个单一集成覆盖控制路径。目标是满足晶圆厂的覆盖性能要求、降低总拥有成本,并提供自由的控制方法。本文将讨论此构想的一个详细实施案例,以及一些初步的结果。

含糖饮料税的国际经验借鉴及启示

为应对日益严重的人口健康问题,世界上已有很多国家开始对含糖饮料征税,并取得了一定成效。目前,我国尚未对含糖饮料征税。本文通过借鉴部分典型国家的相关税收制度和经验,从营造良好的社会文化氛围、确定合理计税依据和税率形式、指定税收收入的专项用途等方面,提出了未来可行的政策建议,以期为我国消费税制度的进一步改革和完善提供有益的启示。