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半导体黄光发光二极管新材料新器件新设备 被引量:8
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作者 江风益 刘军林 +13 位作者 张建立 徐龙权 丁杰 王光绪 全知觉 吴小明 赵鹏 刘苾雨 李丹 王小兰 郑畅达 潘拴 方芳 莫春兰 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第16期104-112,共9页
在可见光范围内,半导体发光二极管(LED)发展很不平衡,黄光 LED 光效(光功率效率)长期远低于其他颜色光效.本文基于 GaN/Si体系,从材料生长、芯片制造、器件物理和专用装备等方面进行了系统研究,解决了外延膜龟裂、位错过多、量子阱应力... 在可见光范围内,半导体发光二极管(LED)发展很不平衡,黄光 LED 光效(光功率效率)长期远低于其他颜色光效.本文基于 GaN/Si体系,从材料生长、芯片制造、器件物理和专用装备等方面进行了系统研究,解决了外延膜龟裂、位错过多、量子阱应力过大、InGaN 黄光阱材料相分离、空穴浓度不足、阱材料生长温度过低、衬底吸光、电极挡光等问题,率先实现了高光效黄光LED关键性突破.所研制的黄光LED器件,在20 A/cm^2驱动下波长565 nm黄光LED光效达26.7%,对应164 lm/W;在1 A/cm^2驱动下波长577 nm黄光LED光效达 42.8%,对应 248 lm/W.基于高光效黄光 LED,开发了无荧光粉、多基色 LED照明新光源,实现了纯LED 照明光源在路灯、氛围灯等方面应用. 展开更多
关键词 SI INGAN 黄光 LED 金属有机物化学气相沉积
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准备层温度对黄光LED光电特性和老化性能的影响 被引量:1
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作者 孙文文 方芳 +2 位作者 王小兰 郑畅达 潘拴 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期461-467,共7页
研究了InGaN/GaN超晶格准备层的生长温度对Si衬底GaN基黄光LED光电特性和老化性能的影响。研究发现准备层生长温度较高的样品外量子效率高于准备层生长温度较低的样品。500 mA电流下老化1000 h后,准备层生长温度较高的样品的光衰相对更... 研究了InGaN/GaN超晶格准备层的生长温度对Si衬底GaN基黄光LED光电特性和老化性能的影响。研究发现准备层生长温度较高的样品外量子效率高于准备层生长温度较低的样品。500 mA电流下老化1000 h后,准备层生长温度较高的样品的光衰相对更大。老化前后100 K的电致发光光谱显示高温生长的样品老化后的空穴注入途径发生变化;老化后光衰大的样品非辐射复合中心增加的程度更大。荧光显微镜观察到两个样品老化前均出现大量暗斑,高温样品的颜色更深更黑,低温样品颜色则相对较浅且呈红色。老化后高温样品的暗斑数量有所增加,而低温样品数量变化不大,这可能也是导致超晶格温度高的样品光衰更大的原因之一。 展开更多
关键词 硅衬底 黄光LED 可靠性
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InGaN绿光LED中p-AlGaN插入层对发光效率提升的影响(英文)
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作者 余浩 郑畅达 +4 位作者 丁杰 莫春兰 潘拴 刘军林 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期1108-1114,共7页
基于含有V坑结构的Si(111)衬底InGaN/GaN绿光LED,我们在传统p-AlGaN电子阻挡层之后优化生长一层25 nm的低掺镁p-AlGaN插入层,并获得明显的效率提升。在35 A/cm 2的电流密度下,主波长为520 nm的LED外量子效率和光功率分别达到43.6%和362.... 基于含有V坑结构的Si(111)衬底InGaN/GaN绿光LED,我们在传统p-AlGaN电子阻挡层之后优化生长一层25 nm的低掺镁p-AlGaN插入层,并获得明显的效率提升。在35 A/cm 2的电流密度下,主波长为520 nm的LED外量子效率和光功率分别达到43.6%和362.3 mW,这是截至目前报道的最高记录。通过分析表明,其潜在的物理机制归结于p-AlGaN插入层能够提高空穴从V坑注入的效率。本文提供了一种有效提升发光效率的方法,尤其适合于含有V坑结构的InGaN/GaN LED。 展开更多
关键词 绿光LED p-AlGaN插入层(IL) 外量子效率 V坑 空穴注入效率
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p-GaN插入层调控InGaN基黄绿双波长LED发光光谱
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作者 魏铎垒 张建立 +4 位作者 刘军林 王小兰 吴小明 郑畅达 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期146-152,共7页
采用MOCVD技术在硅衬底上生长了含有7个黄光量子阱和1个绿光量子阱的混合有源区结构的InGaN基黄绿双波长LED外延材料,研究了电子阻挡层前p-GaN插入层厚度对黄绿双波长LED载流子分布及外量子效率(EQE)的影响。通过LED变温电致发光测试系... 采用MOCVD技术在硅衬底上生长了含有7个黄光量子阱和1个绿光量子阱的混合有源区结构的InGaN基黄绿双波长LED外延材料,研究了电子阻挡层前p-GaN插入层厚度对黄绿双波长LED载流子分布及外量子效率(EQE)的影响。通过LED变温电致发光测试系统对LED光电性能进行了表征。结果表明,100 K小电流时随着电流密度的增大,三组样品的绿光峰与黄光峰相对强度的比值越来越大,且5.5 A·cm^-2的电流密度下,随着温度从300 K逐步降低至100 K,三组样品的绿光峰与黄光峰相对强度的比值也越来越大,说明其载流子都在更靠近p型层的位置发生辐射复合。三组样品的p-GaN插入层厚度为0,10,30 nm时,EQE峰值依次为29.9%、29.2%和28.2%,呈现依次减小的趋势,归因于p-GaN插入层厚度越大,p型层越远离有源区,空穴注入也越浅。电子阻挡层前p-GaN插入层可以有效减小器件EL光谱中绿光峰随着电流密度增加时峰值波长的蓝移(33 nm),实现了对低温发光光谱的调控。 展开更多
关键词 硅衬底 黄绿双波长LED p-GaN插入层 发光光谱
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量子垒生长速率对InGaN基绿光LED性能的影响
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作者 廖芳 莫春兰 +4 位作者 王小兰 郑畅达 全知觉 张建立 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期429-434,共6页
利用MOCVD技术在图形化Si(111)衬底上生长了InGaN/GaN绿光LED外延材料。在GaN量子垒的生长过程中,保持NH3流量不变,通过调节三乙基镓(TEGa)源的流量来改变垒生长速率,研究了量子垒生长速率对LED性能的影响。使用二次离子质谱仪(SIMS)和... 利用MOCVD技术在图形化Si(111)衬底上生长了InGaN/GaN绿光LED外延材料。在GaN量子垒的生长过程中,保持NH3流量不变,通过调节三乙基镓(TEGa)源的流量来改变垒生长速率,研究了量子垒生长速率对LED性能的影响。使用二次离子质谱仪(SIMS)和荧光显微镜(FLM)分别对量子阱的阱垒界面及晶体质量进行了表征,使用电致发光测试系统对LED光电性能进行了表征。实验结果表明,垒慢速生长,在整个测试电流密度范围内,外量子效率(EQE)明显提升。我们认为,小电流密度下,EQE的提升归结为量子阱晶体质量的改善;而大电流密度下,EQE的提升则归结为阱垒界面陡峭程度的提升。 展开更多
关键词 绿光LED 量子垒 生长速率 外量子效率
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Stress Distribution in GaN Films grown on Patterned Si (111) Substrates and Its Effect on LED Performance
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作者 CHEN Dan-Yang WANG Li +3 位作者 XIONG Chuan-Bing zheng chang-da MO Chun-Lan JIANG Feng-Yi 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2013年第9期165-168,共4页
Crack free GaN films were grown on 1200×1200𝜈m^(2) patterned Si(111)substrates and 36 light emitting diodes(LEDs)were fabricated in each pattern unit.Spatial distribution of the tensile stress in the patt... Crack free GaN films were grown on 1200×1200𝜈m^(2) patterned Si(111)substrates and 36 light emitting diodes(LEDs)were fabricated in each pattern unit.Spatial distribution of the tensile stress in the pattern units and its influence on the LED performance are studied by micro-Raman and electroluminescence(EL).The Raman shift of the GaN𝐹E_(2) mode shows that the tensile stress is the maximum at the center,partially relaxed at the edge,and further relaxed at the corner.With the stress relaxation,the EL wavelength has a significant blue shift and the luminous intensity shows a great enhancement. 展开更多
关键词 SI(111) GAN PATTERN
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