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芯片钴互连及其超填充电镀技术的研究进展 被引量:3
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作者 魏丽君 周紫晗 +2 位作者 吴蕴雯 李明 王溯 《电化学》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期18-30,共13页
芯片中的钴互连作为铜互连之后的下一代互连技术受到了业界的极大关注,且已经引入集成电路7 nm以下的制程。钴互连主要采用湿法的电化学沉积技术,但由于保密原因和研究条件的限制,其研究报道不多。本文基于现有专利、文献报道较系统地... 芯片中的钴互连作为铜互连之后的下一代互连技术受到了业界的极大关注,且已经引入集成电路7 nm以下的制程。钴互连主要采用湿法的电化学沉积技术,但由于保密原因和研究条件的限制,其研究报道不多。本文基于现有专利、文献报道较系统地介绍了钴互连技术的优势及发展现状,并从溶液化学和电化学角度综述了钴互连电镀基本工艺、基础镀液组成与添加剂、超填充电镀机理,以及镀层退火控制与杂质影响等的研究现状,并对钴互连技术下一步研究进行了展望。 展开更多
关键词 电沉积 超填充 互连 自下而上
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3D NAND制程中选择性刻蚀工艺的SiO_(2)回沾问题研究进展
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作者 周紫晗 吴蕴雯 +1 位作者 李明 王溯 《电化学》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期26-34,共9页
作为半导体市场中主要存储芯片之一,NAND已从2D发展到3D。3D NAND的立体存储结构提高了芯片容量、性能和可靠性。在3D NAND的交替堆栈结构中,需通过氮化-物氧化物的选择性刻蚀获得层间介质层,堆栈层数越多,芯片性能越好,但高层堆栈的刻... 作为半导体市场中主要存储芯片之一,NAND已从2D发展到3D。3D NAND的立体存储结构提高了芯片容量、性能和可靠性。在3D NAND的交替堆栈结构中,需通过氮化-物氧化物的选择性刻蚀获得层间介质层,堆栈层数越多,芯片性能越好,但高层堆栈的刻蚀均匀性也更难保持,此时易出现SiO2在氧化层端头再沉积的回沾现象,层间结构被破坏,影响器件性能。要达到更高层数必须减少回沾,探究该过程及其影响因素成为关键所在。本文综述了3D NAND制程中氮化硅选择性刻蚀工艺的发展现状和现有研究成果,强调了控制硅含量对防止回沾的重要性,介绍了相关理论模型,提供模拟预测。为深入分析其中的化学反应,本文对相关的SiO_(2)溶液化学进行了概述,总结了聚硅酸形成的影响因素,强调胶凝曲线能反应其聚合行为,据此可研究怎样通过影响硅酸聚合行为或聚硅酸在氧化层表面的沉积行为来防止回沾,以对未来研究起到理论指导作用. 展开更多
关键词 半导体存储器 3D NAND 刻蚀 氮化硅 二氧化硅 硅酸
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Microfluidic production of liposomes through liquid-liquid phase separation in ternary droplets
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作者 Xu-Chun Song zi-han zhou +1 位作者 Ya-Lan Yu Nan-Nan Deng 《Frontiers of Chemical Science and Engineering》 SCIE EI CSCD 2022年第6期1017-1022,共6页
Liposomes,the self-assembled phospholipid vesicles,have been extensively used in various fields such as artificial cells,drug delivery systems,biosensors and cosmetics.However,current microfluidic routes to liposomes ... Liposomes,the self-assembled phospholipid vesicles,have been extensively used in various fields such as artificial cells,drug delivery systems,biosensors and cosmetics.However,current microfluidic routes to liposomes mostly rely on water-in-oil-in-water double emulsion droplets as templates,and require complex fabrication of microfluidic devices,and tedious manipulation of multiphase fluids.Here we present a simple microfluidic approach to preparing monodisperse liposomes from oil-in-water droplets.For demonstration,we used butyl acetate-water-ethanol ternary mixtures as inner phase and an aqueous solution of surfactants as outer phase to make oil-in-water droplets,which can evolve into water-in-oil-in-water double emulsion droplets by liquid-liquid phase separation of ternary mixtures.Subsequently,the resultant water-in-oil-in-water droplets underwent a dewetting transition to form separated monodisperse liposomes and residual oil droplets,with the assistance of surfactants.The method is simple,does not require complex microfluidic devices and tedious manipulation,and provides a new platform for controllable preparation of liposomes. 展开更多
关键词 MICROFLUIDICS liposomes ternary droplets phase separation
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