对uLoop进行电压对比测试,及时有效对接触层进行在线缺陷分析

本文介绍了在在线电压比较检测中可采用未接地链测试结构对诱发通孔和接触孔开路缺陷的机制进行监控和调试。它为如何利用在线电压对比检测技术的优点带来众多新的机会。同时,本文还提出一种有关开路链的 VC信号表现的解释理论,并进行了实验验证。此外,本文还介绍了在 IBM 的300毫米代工厂中对这一现象的应用方法以及部分使用案例。

掩膜对不准测量用的电压对比度测试结构

由于目前最先进CMOS器件的尺寸非常小,对准要求变得极具挑战性。测量触点至栅极对准的方法涉及用SEM扫描触点阵列,每次与接地栅极的重叠部分数量不同。电压对比信号表明哪些触点正在触及栅极。把样品晶圆数据与光学对准数据进行了比较。阐述了更充分比较二种技术的精度必须要做的后续工作。