一种基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统

介绍了一个基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统。系统包括两个干涉仪:采用半导体激光器作为光源的定位干涉仪和测量位移的外差干涉仪。介绍了光源的选择,系统的设计以及信号的采集和处理方案。采用这套绝对测量系统,可以实现长度为2m以内的绝对距离测量,定位精度可以达到±0.5μm。

宽激光束的准直及其准直度的测量方法

本文提出两种快速获得宽准直激光束并确定其准直度的简便方法，即基于薄膜干涉原理的平行平晶法和基于Ｔａｌｂｏｔ自成象原理的莫尔条纹法。给出了两种情况下表征准直度的光束发散角或会聚角的测量公式，并讨论了其测量灵敏度。