无氧铜基金刚石薄膜场致发射特性研究

采用微波等离子体方法在铜片上沉积了多晶金刚石薄膜 ,用该薄膜制成的场致发射体的开启电压较低 ,发射电流密度较高。利用自制的场致发射阵列阴极高真空测试台测试了 1～ 10 0mA/cm2 的发射电流密度特性 ,对应的电场强度为 2 0～ 3 5MV/m。从拟合F N公式得到的功函数Φ≈ 0 0 2 5eV ,所发射电子轰击荧光屏后能产生明亮的光斑。