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微机械薄膜残余应力研究 被引量:9
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作者 虞益挺 苑伟政 乔大勇 《微细加工技术》 EI 2005年第2期46-50,共5页
阐述了薄膜残余应力对MEMS器件结构的影响及其产生根源、测量技术与控制技术,对多层薄膜结构中热应力的产生进行了有限元建模和理论分析。通过对一种残余应力测量结构(微旋转结构)的仿真分析表明,旋转梁端的偏移量与残余应变成线性对应... 阐述了薄膜残余应力对MEMS器件结构的影响及其产生根源、测量技术与控制技术,对多层薄膜结构中热应力的产生进行了有限元建模和理论分析。通过对一种残余应力测量结构(微旋转结构)的仿真分析表明,旋转梁端的偏移量与残余应变成线性对应关系。最后,简单介绍了沉积工艺条件、应变相消法以及快速热退火在薄膜残余应力控制中的应用。 展开更多
关键词 微机电系统 薄膜残余应力 微旋转结构 应变相消 快速热退火
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SiGe/Si(100)外延薄膜材料的应变表征研究 被引量:1
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作者 陈长春 余本海 +2 位作者 刘江峰 曹建清 朱德彰 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期277-281,共5页
如何表征SiGe/Si异质外延薄膜中的应变对提升SiGe器件的性能至关重要。本文详细介绍了卢瑟福背散射/沟道效应(RBS/C)、高分辨率X射线衍射(HRXRD)和拉曼(Raman)谱等技术表征SiGe薄膜中应变的原理。通过这些实验技术,研究了SiGe/Si外延薄... 如何表征SiGe/Si异质外延薄膜中的应变对提升SiGe器件的性能至关重要。本文详细介绍了卢瑟福背散射/沟道效应(RBS/C)、高分辨率X射线衍射(HRXRD)和拉曼(Raman)谱等技术表征SiGe薄膜中应变的原理。通过这些实验技术,研究了SiGe/Si外延薄膜在氧气和惰性气体氛围下高温退火前后应变弛豫及离子注入Si衬底上外延生长的SiGe薄膜应变状态。 展开更多
关键词 应变 硅锗 卢瑟福背散射/沟道效应 高分辨率X射线衍射 拉曼谱
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ITO表面改性对有机电致发光器件性能的影响 被引量:1
3
作者 黎威志 季兴桥 +2 位作者 阳秀 钟志有 蒋亚东 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期955-957,961,共4页
采用乙醇、氧等离子、NaOH、浓硫酸分别对氧化铟锡薄膜进行了处理;利用原子力显微镜、X-射线光电子能谱、接触角测试仪对处理后薄膜的表面形貌、化学组分及表面能进行了研究。实验结果表明经浓硫酸和NaOH处理后的氧化铟锡薄膜表面具有... 采用乙醇、氧等离子、NaOH、浓硫酸分别对氧化铟锡薄膜进行了处理;利用原子力显微镜、X-射线光电子能谱、接触角测试仪对处理后薄膜的表面形貌、化学组分及表面能进行了研究。实验结果表明经浓硫酸和NaOH处理后的氧化铟锡薄膜表面具有较低的粗糙度、较小的表面颗粒半径、较低的碳污染以及较高的表面能;另外,以不同材料处理的氧化铟锡基片为阳极采用真空热蒸发法制备了双层结构发光器件ITO/NPB/AlQ/Mg:Ag/Ag,并对器件的电流-电压(J-V)、亮度-电压(B-V)特性以及效率(η)进行了测试和分析,结果表明乙醇处理基片做制备器件性能最差,而经浓硫酸、NaOH处理后的氧化铟锡基片所制备的双层器件的光电性能优于氧等离子处理,其启亮电压更低,发光亮度及效率更高。 展开更多
关键词 氧化铟锡 有机发光二极管 表面能 表面改性
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静压下GaN/AlN应变超晶格的晶格动力学研究 被引量:3
4
作者 郭子政 阎祖威 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期269-273,共5页
利用弹性理论计算出静压下应变超晶格两种组分材料的纵向晶格常数的改变,并用来修正应变存在时的面间力常数.在此基础上研究了应变对GaN/AlN超晶格的L-声子的色散关系和振动模式的影响.结果表明,应变可以在一定程度上破坏GaN和AlN中L-... 利用弹性理论计算出静压下应变超晶格两种组分材料的纵向晶格常数的改变,并用来修正应变存在时的面间力常数.在此基础上研究了应变对GaN/AlN超晶格的L-声子的色散关系和振动模式的影响.结果表明,应变可以在一定程度上破坏GaN和AlN中L-声子的准限制模式.另外静压对L-声子的色散关系影响显著,而对原子的振动模式影响较小. 展开更多
关键词 晶格动力学 GaN/A1N超晶格 静压 应变
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高Al组分Al_xGa_(1-x)N薄膜的弹性-塑性力学性质 被引量:1
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作者 许福军 沈波 +7 位作者 王茂俊 许谏 苗振林 杨志坚 秦志新 张国义 蔺冰 白树林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1551-1554,共4页
采用纳米压痕方法,研究了AlN/spphire模板上的高Al组分AlxGa1-xN薄膜的力学性质,特别是弹性-塑性转变行为.研究表明,AlxGa1-xN薄膜的杨氏模量E随着Al组分的增加而增大,薄膜中产生塑性形变所必要的剪切应力也随着Al组分的增加而增大.在Al... 采用纳米压痕方法,研究了AlN/spphire模板上的高Al组分AlxGa1-xN薄膜的力学性质,特别是弹性-塑性转变行为.研究表明,AlxGa1-xN薄膜的杨氏模量E随着Al组分的增加而增大,薄膜中产生塑性形变所必要的剪切应力也随着Al组分的增加而增大.在AlxGa1-xN薄膜纳米压痕实验中,观察到位移不连续的跳断('pop-in')行为,并且发现'pop-in'行为强烈依赖于Al组分,Al组分的增加导致这种行为的减少.我们认为随着Al组分的增加,AlxGa1-xN中键能的增强和由于AlxGa1-xN与AlN/sapphire模板之间晶格失配减少这两个因素增加了AlxGa1-xN中新位错形成的阻力,从而导致了AlxGa1-xN薄膜中的'pop-in'行为随Al组分增加而减少. 展开更多
关键词 AlxGa1-xN薄膜 杨氏模量 力学性质 塑性形变
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柔性衬底上AZO薄膜的附着力特性研究 被引量:1
6
作者 曹培江 赖国霞 +4 位作者 柳文军 贾芳 朱德亮 马晓翠 吕有明 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第18期139-141,共3页
使用脉冲激光沉积(PLD)方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO(ZnO∶Al)薄膜。通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力。结果表... 使用脉冲激光沉积(PLD)方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO(ZnO∶Al)薄膜。通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力。结果表明,两种柔性衬底上生长的AZO薄膜都是单一的ZnO六方相,可见光范围内光学透过率均大于85%;PMMA、PET衬底上AZO薄膜的临界载荷数值分别为31.31mN和16.97mN,PET衬底上ITO薄膜的临界载荷数值为40.55mN。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 脉冲激光沉积 附着力
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有限宽度的ZnSe/ZnTe应变超晶格中LA声子的拉曼频移(英文)
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作者 郭子政 梁希侠 《光散射学报》 2002年第3期134-139,共6页
考虑到真实超晶格系统的有限宽度会造成晶格的非周期性 ,我们修正了用来决定拉曼频移峰值位置的公式中的倒格矢一项。在线性驰豫应变假设下给出了应变超晶格纵向原子间距的几何模型。在上述理论基础上计算了有限宽度的ZnSe/ZnTe应变超晶... 考虑到真实超晶格系统的有限宽度会造成晶格的非周期性 ,我们修正了用来决定拉曼频移峰值位置的公式中的倒格矢一项。在线性驰豫应变假设下给出了应变超晶格纵向原子间距的几何模型。在上述理论基础上计算了有限宽度的ZnSe/ZnTe应变超晶格LA声子的拉曼频移。数值计算结果同现有实验结果作了比较 ,符合很好。 展开更多
关键词 有限宽度 ZnSe/ZnTe 超晶格 LA声子 拉曼频移 应变 硒化锌 碲化锌 数值计算
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竹材内耗和介电的研究 被引量:1
8
作者 陈爱平 李伟 +4 位作者 吴晓波 吴秀梅 尹媛 朱劲松 王业宁 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期364-369,共6页
用葛氏倒扭摆仪测量了竹材样品在153K到523K温度范围内的低频下的内耗(IF)行为,在173K2、28K3、23K和489K观察到4个内耗峰,对323K内耗峰的机理进行了较为详细地研究,利用多功能摆研究了其对频率的依赖性,发现该峰峰温不随测量频率变化,... 用葛氏倒扭摆仪测量了竹材样品在153K到523K温度范围内的低频下的内耗(IF)行为,在173K2、28K3、23K和489K观察到4个内耗峰,对323K内耗峰的机理进行了较为详细地研究,利用多功能摆研究了其对频率的依赖性,发现该峰峰温不随测量频率变化,而峰高与测量频率及升温速率有关,呈现相变内耗峰的特征.介电测量表明:在323K附近同样存在一介电损耗峰.为了探讨该峰的机理,进一步研究了竹材含水量对该损耗峰的影响.实验结果表明该峰与水在竹材中的某种转变有关. 展开更多
关键词 竹材 内耗 介电损耗
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立方相Ca_2Ge结构稳定性的第一性原理研究 被引量:1
9
作者 吕林 岑伟富 杨吟野 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期797-805,共9页
采用贋势平面波中的GGA和LDA两种近似方法分别计算立方相Ca_2Ge在-6~8 GPa应力作用下的弹性特性、布局分析、电子结构和(100)面的电荷密度,分析应力作用下立方相Ca_2Ge的结构稳定性。计算结果表明,当应力在-6~8 GPa范围,立方相Ca_2Ge具... 采用贋势平面波中的GGA和LDA两种近似方法分别计算立方相Ca_2Ge在-6~8 GPa应力作用下的弹性特性、布局分析、电子结构和(100)面的电荷密度,分析应力作用下立方相Ca_2Ge的结构稳定性。计算结果表明,当应力在-6~8 GPa范围,立方相Ca_2Ge具有较好的力学稳定结构,体弹模量B、剪切模量G和杨氏模量E随应力的增加而增加,体弹模量B的增长呈线性增加,而剪切模量G和杨氏模量E的增长速率随应力的增加而减小。根据Pugh准则,当应力小于4 GPa时,立方相Ca_2Ge表现为脆性,应力大于等于4 GPa时,表现为延性。根据布局分析结果,随着压力的增加,Ca原子4s态电子向3d态跃迁,立方相Ca_2Ge化合物在较高压力下存在共价键,离子性降低。能带结构和态密度计算结果表明,应力在-4~8 GPa范围,带隙值随应力的增加而成线性降低,在-6~0 GPa应力下,Cas态电子未参与成键,随着应力的增加,各电子态的能带线宽度增加,态密度的峰值宽度增加,表明电子云的重叠越大,电子间的成键强度加强。分析立方相Ca_2Ge(100)面的电荷密度,得出(100)面上最大电荷密度值随应力的增加而减小,最小电荷密度值随应力的增加而增加,说明(100)面上电子局域性随应力的增加而降低,电子云的重叠程度随应力的增加而增大,电子轨道半径增大,成键强度增强。 展开更多
关键词 Ca2Ge 结构稳定性 弹性常数 第一性原理
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石墨烯纳米带谐振频率的分子动力学模拟 被引量:1
10
作者 李婷婷 王静 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期534-537,共4页
石墨烯因其独特的结构和特性,具有广泛的应用前景。采用分子动力学的方法模拟石墨烯被硅探针压变形后弯曲振动的动力学过程,探讨了石墨烯纳米带的尺寸和温度对石墨烯纳米带谐振特性的影响。模拟结果表明,石墨烯纳米带的谐振频率随着石... 石墨烯因其独特的结构和特性,具有广泛的应用前景。采用分子动力学的方法模拟石墨烯被硅探针压变形后弯曲振动的动力学过程,探讨了石墨烯纳米带的尺寸和温度对石墨烯纳米带谐振特性的影响。模拟结果表明,石墨烯纳米带的谐振频率随着石墨烯纳米带的长度、宽度、层数(厚度)以及温度变化。其中宽度、厚度和温度对石墨烯纳米带谐振频率的影响较小,影响石墨烯纳米带谐振频率的主要因素是长度。 展开更多
关键词 石墨烯纳米带 谐振频率 分子动力学
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图形化Si基Ge薄膜热应变的有限元分析
11
作者 高玮 亓东锋 +5 位作者 韩响 陈松岩 李成 赖虹凯 黄巍 李俊 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期699-703,共5页
利用有限元方法模拟了图形化Si衬底上外延Ge薄膜的热失配应变,研究了薄膜内部以及表面的应变分布情况,分析了应变与薄膜厚度、衬底尺寸的变化关系.结果表明,热失配应变在异质结构的界面处最大,沿外延层生长方向递减;在薄膜表面,中心区... 利用有限元方法模拟了图形化Si衬底上外延Ge薄膜的热失配应变,研究了薄膜内部以及表面的应变分布情况,分析了应变与薄膜厚度、衬底尺寸的变化关系.结果表明,热失配应变在异质结构的界面处最大,沿外延层生长方向递减;在薄膜表面,中心区域应变最大,由中心到边缘逐渐减小,边缘发生突变,急剧减小;不同的膜厚下,薄膜表面应变分布规律相同,并且薄膜越厚,应变越小;图形衬底单元的尺寸对薄膜应变有较大的影响,当衬底厚度在6μm以内,宽度在10μm以内时,更有利于薄膜应变的释放. 展开更多
关键词 图形化衬底 Ge SI 有限元法 热失配 应变
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用半导体微位移传感器测量磁致伸缩系数 被引量:1
12
作者 倪敏 张一帆 +2 位作者 郑源明 董琳 赵彩安 《大学物理》 北大核心 2017年第9期35-37,43,共4页
简述磁致伸缩及其参数测量原理,设计了用半导体应变计取代常用的铝丝电阻应变片,研制成新型的半导体微位移传感器,并用标准长度量具对微位移传感器进行定标,从而直接测量出材料在磁场中微小长度变化量.既解决了原先教学实验不能随意更... 简述磁致伸缩及其参数测量原理,设计了用半导体应变计取代常用的铝丝电阻应变片,研制成新型的半导体微位移传感器,并用标准长度量具对微位移传感器进行定标,从而直接测量出材料在磁场中微小长度变化量.既解决了原先教学实验不能随意更换样品的麻烦,又提高了测量的灵敏度和精确度,准确测得多种材料的磁致伸缩系数曲线. 展开更多
关键词 半导体应变片 磁致伸缩 半导体微位移传感器
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冲击相变和相边界
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作者 唐志平 王文强 《宁波大学学报(理工版)》 CAS 2000年第B12期95-101,共7页
关键词 相变固体力学 冲击相变 相边界 硫化镉 半导体材料 冲击波 传播规律
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Stress-induced potential barriers and charge distributions in a piezoelectric semiconductor nanofiber 被引量:3
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作者 Shuaiqi FAN Yuantai HU Jiashi YANG 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI CSCD 2019年第5期591-600,共10页
The performance of a piecewise-stressed ZnO piezoelectric semiconductor nano?ber is studied with the multi-?eld coupling theory. The ?elds produced by equal and opposite forces as well as sinusoidally distributed forc... The performance of a piecewise-stressed ZnO piezoelectric semiconductor nano?ber is studied with the multi-?eld coupling theory. The ?elds produced by equal and opposite forces as well as sinusoidally distributed forces are examined. Speci?c distributions of potential barriers, wells, and regions with effective polarization charges are found. The results are fundamental for the mechanical tuning on piezoelectric semiconductor devices and piezotronics. 展开更多
关键词 ZnO nanofiber mechanical tuning multi-field coupling theory potential barrier potential well
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利用第一性原理方法研究CuXSe_2(X=B,Al,Ga,In,Tl)力学性质
15
作者 刘晶晶 史力斌 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期672-676,共5页
在广义梯度近似(GGA)和局域密度近似(LDA)下,采用第一性原理方法研究CuXSe2(X=B,Al,Ga,In,Tl)晶体结构的稳定性和力学性质.分析CuXSe2(X=B,Al,Ga,In,Tl)结构的晶格常数,弹性常数,体积模量,剪切模量,杨氏模量,泊松比,对比各材料的力学性... 在广义梯度近似(GGA)和局域密度近似(LDA)下,采用第一性原理方法研究CuXSe2(X=B,Al,Ga,In,Tl)晶体结构的稳定性和力学性质.分析CuXSe2(X=B,Al,Ga,In,Tl)结构的晶格常数,弹性常数,体积模量,剪切模量,杨氏模量,泊松比,对比各材料的力学性质变换规律.计算结果表明,根据力学稳定判据,在零温零压下,CuXSe2(X=B,Al,Ga,In,Tl)的晶体结构是力学稳定的.经过同主族替换,发现晶格常数越大,体弹性模量就越小.这可以解释为X离子半径逐渐增大,晶格常数逐渐增加,晶体的可压缩性也增加.另外,CuTlSe2的剪切模量最小,不容易发生剪切形变.CuBSe2的杨氏模量最大,其刚度最高.由Pugh经验关系可知CuXSe2(X=B,Al,Ga,In,Tl)均属于韧性材料. 展开更多
关键词 力学性质 第一性原理 CuXSe2
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First-principles calculations for elastic properties of rutile TiO_2 under pressure 被引量:2
16
作者 朱俊 于景新 +2 位作者 王艳菊 陈向荣 经福谦 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第6期2216-2221,共6页
This paper studies the equilibrium structure parameters and the dependences of the elastic properties on pressure for rutile TiO2 by using the Cambridge Serial Total Energy Package (CASTEP) program in the frame of den... This paper studies the equilibrium structure parameters and the dependences of the elastic properties on pressure for rutile TiO2 by using the Cambridge Serial Total Energy Package (CASTEP) program in the frame of density functional theory. The obtained equilibrium structure parameters, bulk modulus B0 and its pressure derivative B0 are in good agreement with experiments and the theoretical results. The six independent elastic constants of rutile TiO2 under pressure are theoretically investigated for the first time. It is found that, as pressure increases, the elastic constants C11 ,C33 , C66 , C12 and C13 increase, the variation of elastic constant C 44 is not obvious and the anisotropy will weaken. 展开更多
关键词 密度泛函理论 TIO2 弹性 应力
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Typical transient effects in a piezoelectric semiconductor nanofiber under a suddenly applied axial time-dependent force 被引量:1
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作者 Wanli YANG Yuxing LIANG 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI CSCD 2021年第8期1095-1108,共14页
Based on the mechanical motion equation,Gauss’s law,and the current continuity condition,we study a few typical transient effects in a piezoelectric semiconductor(PS)fiber to realize the startup and turning-off funct... Based on the mechanical motion equation,Gauss’s law,and the current continuity condition,we study a few typical transient effects in a piezoelectric semiconductor(PS)fiber to realize the startup and turning-off functions of common piezotronic devices.In this study,the transient extensional vibration induced by a suddenly applied axial time-dependent force is examined in a cantilevered n-type ZnO nanofiber.Neither the magnitude of the loadings nor the doping concentration significantly affects the propagation caused by disturbance of the axial displacement.However,both of the factors play an important role in the propagation caused by disturbance of the electron concentrations.This indicates that the electromechanical coupling effect can be expected to directly determine the electronic performance of the devices.In addition,the assumption of previous simplified models which neglect the charge carriers in Gauss’s law is discussed,showing that this assumption has a little influence on the startup state when the doping concentration is smaller than 1021 m-3.This suggests that the screening effect of the carriers on the polarized electric field is much reduced in this situation,and that the state is gradually transforming into a pure piezoelectric state.Nevertheless,the carriers can provide a damping effect,which means that the previous simplified models do not sufficiently describe the turning-off state.The numerical results show that the present study has referential value with respect to the design of newly multifunctional PS devices. 展开更多
关键词 transient piezoelectric semiconductor(PS) extension vibration
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Zn_4Sb_3力学性能的分子动力学模拟 被引量:1
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作者 李国栋 李瑶 +2 位作者 杨绪秋 童宇 翟鹏程 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期304-307,共4页
二元化合物Zn4Sb3具有较高的热电性能,是最具前景的中温热电材料之一,但其强度较低的缺点限制了它的广泛应用。本文根据Zn4Sb3热电材料的原子间作用势,采用分子动力学方法模拟了Zn4Sb3单晶块体在0K时的拉伸力学性能。根据Zn4Sb3的晶体结... 二元化合物Zn4Sb3具有较高的热电性能,是最具前景的中温热电材料之一,但其强度较低的缺点限制了它的广泛应用。本文根据Zn4Sb3热电材料的原子间作用势,采用分子动力学方法模拟了Zn4Sb3单晶块体在0K时的拉伸力学性能。根据Zn4Sb3的晶体结构,构建了用于分子动力学的计算单胞,对Zn4Sb3单晶块体在[010]方向和[001]方向的拉伸力学性能进行了模拟。获得了Zn4Sb3单晶块体在0K时[010]方向的弹性模量和强度极限,分别为69.08GPa和13.48GPa;在[001]方向的弹性模量和强度极限分别为97.42GPa和20.00GPa。 展开更多
关键词 Zn4Sb3 分子动力学 弹性模量 强度极限
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Valence band structure and density of states effective mass model of biaxial tensile strained silicon based on k·p theory
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作者 匡潜玮 刘红侠 +2 位作者 王树龙 秦珊珊 王志林 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第12期335-340,共6页
After constructing a stress and strain model,the valence bands of in-plane biaxial tensile strained Si is calculated by k·p method.In the paper we calculate the accurate anisotropy valance bands and the splitting... After constructing a stress and strain model,the valence bands of in-plane biaxial tensile strained Si is calculated by k·p method.In the paper we calculate the accurate anisotropy valance bands and the splitting energy between light and heavy hole bands.The results show that the valance bands are highly distorted,and the anisotropy is more obvious.To obtain the density of states (DOS) effective mass,which is a very important parameter for device modeling,a DOS effective mass model of biaxial tensile strained Si is constructed based on the valance band calculation.This model can be directly used in the device model of metal-oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET).It also a provides valuable reference for biaxial tensile strained silicon MOSFET design. 展开更多
关键词 价带结构 质量模型 应变硅 态密度 金属氧化物半导体场效应晶体管 双轴拉伸 MOSFET 拉伸应变
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Interaction between bending and mobile charges in a piezoelectric semiconductor bimorph
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作者 Lei YANG Jianke DU J.S.YANG 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI CSCD 2022年第8期1171-1186,共16页
We study the bending of a two-layer piezoelectric semiconductor plate(bimorph).The macroscopic theory of piezoelectric semiconductors is employed.A set of two-dimensional plate equations is derived from the three-dime... We study the bending of a two-layer piezoelectric semiconductor plate(bimorph).The macroscopic theory of piezoelectric semiconductors is employed.A set of two-dimensional plate equations is derived from the three-dimensional equations.The plate equations exhibit direct couplings among bending,electric polarization along the plate thickness,and mobile charges.In the case of pure bending,a combination of physical and geometric parameters is identified which characterizes the strength of the interaction between the mechanical load and the distribution of mobile charges.In the bending of a rectangular plate under a distributed transverse mechanical load,it is shown that mobile charge distributions and potential barriers/wells develop in the plate.When the mechanical load is local and self-balanced,the induced carrier distributions and potential barriers/wells are also localized near the loading area.The results are fundamentally useful for mechanically manipulating mobile charges in piezoelectric semiconductor devices. 展开更多
关键词 PIEZOELECTRIC PLATE BIMORPH BENDING piezotronic
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