薄膜物理中厚度测量的教学设计与探索

物体厚度是一个简单的物理量,然而对于薄膜体系,厚度则扮演着极其重要的角色,尤其是对薄膜的各种物理和化学性质影响很大.因此,在薄膜物理这门课程中,需要强化薄膜厚度的概念及其测量方法的教学内容.本文从薄膜厚度的基本概念出发,围绕“学”来展开教学,以问题为导向,逐步引出厚度的重要性,解析厚度测量的方法和原理,具体讲解厚度的测量技术.教学内容由浅入深,推表及里,激发学生的思考,使学生更加深刻地掌握薄膜厚度概念及测量原理,同时在教学过程中引入领域科学前沿和思政元素,达到“教书”与“育人”的双重目的.

椭偏法测量薄膜参数的实验改进

介绍了椭偏仪实验装置及实验调整的不足对薄膜参数测量的影响,制作了小孔光阑和可调位移平台,对光接收和实验调整做了改进,给出了改进的实验调整和实验测量方法,改进后的实验调整简单易调,测量精度得到提高.

直流磁控溅射镀膜实验条件的选择

介绍一台改制的直流以磁控溅射镀膜机用于溅射镀膜实验 ,选择实验条件 ,观察实验现象 。

基于数码相机的膜厚测量实验

本文介绍了借助于数码相机将干涉显微镜正气图像展示在计算机屏幕上的方法 ,解决了膜厚测量实验中的常见问题 ,加快了实验调节的速度 ,提高了教学效果。