期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
4
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
nm量级薄膜厚度测量
被引量:
10
1
作者
陈凯
崔明启
+1 位作者
郑雷
赵屹东
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期234-238,共5页
为了获得nm量级薄膜样品的精确厚度,采用软X射线反射率拟合方法、Bragg衍射方程方法和反射率Fourier变换方法分析了常规Cu靶X射线衍射数据及软X射线反射率数据。对厚度测量结果进行比较,3种方法得到的结果一致性很好。其中,软X射线反射...
为了获得nm量级薄膜样品的精确厚度,采用软X射线反射率拟合方法、Bragg衍射方程方法和反射率Fourier变换方法分析了常规Cu靶X射线衍射数据及软X射线反射率数据。对厚度测量结果进行比较,3种方法得到的结果一致性很好。其中,软X射线反射率拟合和Bragg衍射方程方法精度很高,优于1nm,Fourier变换方法精度稍低。对于单层W薄膜样品,3种方法获得厚度分别为(15.21±0.60)nm,(14.0±1.0)nm和(13.8±1.5)nm;对于双层W/C薄膜样品,W层厚度分别为(12.64±0.60)nm,(13.0±1.0)nm和(13.9±1.5)nm。这3种方法测量结果精度主要取决于反射率数据测量精度,而Fourier变换方法精度随着能量升高而提高,随着掠入射角范围增大而提高。
展开更多
关键词
薄膜厚度
反射率拟合
Bragg衍射
FOURIER变换
下载PDF
职称材料
用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数
被引量:
10
2
作者
刘细成
王植恒
+1 位作者
廖清君
赖成军
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期94-96,112,共4页
提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法 ,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图。为了验证此方法的准确性和可行性 ,先进行了计算模拟 ,然后对SiNx 薄膜进行了测量。模拟结果与理...
提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法 ,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图。为了验证此方法的准确性和可行性 ,先进行了计算模拟 ,然后对SiNx 薄膜进行了测量。模拟结果与理论值非常接近 ,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好。此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点。
展开更多
关键词
透射光谱
模拟退火
薄膜
光学常数
下载PDF
职称材料
薄膜厚度和光学常数的主要测试方法
被引量:
29
3
作者
陈燕平
余飞鸿
《光学仪器》
2006年第6期84-88,共5页
准确地测量和控制薄膜厚度和光学常数等参数,在薄膜制备和分析和应用都是极为重要的。对薄膜的厚度和光学常数测试方法作了归纳和分类,并对几种主要的测试方法作了简要的介绍,分析了各自的特点及存在的问题。在测量薄膜的厚度和光学常数...
准确地测量和控制薄膜厚度和光学常数等参数,在薄膜制备和分析和应用都是极为重要的。对薄膜的厚度和光学常数测试方法作了归纳和分类,并对几种主要的测试方法作了简要的介绍,分析了各自的特点及存在的问题。在测量薄膜的厚度和光学常数时,必须根据待测样品和测量精度要求选择合适的方法。
展开更多
关键词
薄膜厚度
光学常数
探针测量
光谱测量
椭偏测量
下载PDF
职称材料
磁控溅射薄膜沉积速率的标定
被引量:
2
4
作者
陈海良
马明建
《大学物理实验》
2010年第2期4-6,18,共4页
在不同的溅射功率和溅射时间下,使用磁控溅射设备制备了系列薄膜Si/Fe(P1w,T1s)和Si/[Fe(P2w,T2s)/NiO(P3w,T3s)]10。利用小角X射线衍射测量了样品的衍射强度分布,并分别计算出了Fe和NiO在不同溅射功率下的沉积速率。实验结果表明,在测...
在不同的溅射功率和溅射时间下,使用磁控溅射设备制备了系列薄膜Si/Fe(P1w,T1s)和Si/[Fe(P2w,T2s)/NiO(P3w,T3s)]10。利用小角X射线衍射测量了样品的衍射强度分布,并分别计算出了Fe和NiO在不同溅射功率下的沉积速率。实验结果表明,在测量范围内沉积速率与溅射功率之间存在线性关系。
展开更多
关键词
磁控溅射
小角X射线衍射
沉积速率
下载PDF
职称材料
题名
nm量级薄膜厚度测量
被引量:
10
1
作者
陈凯
崔明启
郑雷
赵屹东
机构
中国科学院高能物理研究所
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期234-238,共5页
基金
国家自然科学基金资助课题(10374088)
中国科学技术大学博士生创新基金资助课题
文摘
为了获得nm量级薄膜样品的精确厚度,采用软X射线反射率拟合方法、Bragg衍射方程方法和反射率Fourier变换方法分析了常规Cu靶X射线衍射数据及软X射线反射率数据。对厚度测量结果进行比较,3种方法得到的结果一致性很好。其中,软X射线反射率拟合和Bragg衍射方程方法精度很高,优于1nm,Fourier变换方法精度稍低。对于单层W薄膜样品,3种方法获得厚度分别为(15.21±0.60)nm,(14.0±1.0)nm和(13.8±1.5)nm;对于双层W/C薄膜样品,W层厚度分别为(12.64±0.60)nm,(13.0±1.0)nm和(13.9±1.5)nm。这3种方法测量结果精度主要取决于反射率数据测量精度,而Fourier变换方法精度随着能量升高而提高,随着掠入射角范围增大而提高。
关键词
薄膜厚度
反射率拟合
Bragg衍射
FOURIER变换
Keywords
Film thickness
Reflectance curve fitting
Bragg diffraetion
Fourier transform
分类号
O484.32 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数
被引量:
10
2
作者
刘细成
王植恒
廖清君
赖成军
机构
四川大学物理学院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第2期94-96,112,共4页
文摘
提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法 ,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图。为了验证此方法的准确性和可行性 ,先进行了计算模拟 ,然后对SiNx 薄膜进行了测量。模拟结果与理论值非常接近 ,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好。此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点。
关键词
透射光谱
模拟退火
薄膜
光学常数
Keywords
transmission spectra
simulated annealing
thin film
optical constant
分类号
O484.32 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
薄膜厚度和光学常数的主要测试方法
被引量:
29
3
作者
陈燕平
余飞鸿
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《光学仪器》
2006年第6期84-88,共5页
文摘
准确地测量和控制薄膜厚度和光学常数等参数,在薄膜制备和分析和应用都是极为重要的。对薄膜的厚度和光学常数测试方法作了归纳和分类,并对几种主要的测试方法作了简要的介绍,分析了各自的特点及存在的问题。在测量薄膜的厚度和光学常数时,必须根据待测样品和测量精度要求选择合适的方法。
关键词
薄膜厚度
光学常数
探针测量
光谱测量
椭偏测量
Keywords
film thickness
optical constants probe measurement
spectroscopy measurement ellipsometry measurement
分类号
O484.32 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
磁控溅射薄膜沉积速率的标定
被引量:
2
4
作者
陈海良
马明建
机构
燕山大学
出处
《大学物理实验》
2010年第2期4-6,18,共4页
文摘
在不同的溅射功率和溅射时间下,使用磁控溅射设备制备了系列薄膜Si/Fe(P1w,T1s)和Si/[Fe(P2w,T2s)/NiO(P3w,T3s)]10。利用小角X射线衍射测量了样品的衍射强度分布,并分别计算出了Fe和NiO在不同溅射功率下的沉积速率。实验结果表明,在测量范围内沉积速率与溅射功率之间存在线性关系。
关键词
磁控溅射
小角X射线衍射
沉积速率
Keywords
magnetron sputtering
small angle X-ray diffraction
deposition rate
分类号
O484.32 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
nm量级薄膜厚度测量
陈凯
崔明启
郑雷
赵屹东
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
10
下载PDF
职称材料
2
用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数
刘细成
王植恒
廖清君
赖成军
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003
10
下载PDF
职称材料
3
薄膜厚度和光学常数的主要测试方法
陈燕平
余飞鸿
《光学仪器》
2006
29
下载PDF
职称材料
4
磁控溅射薄膜沉积速率的标定
陈海良
马明建
《大学物理实验》
2010
2
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部