期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
一种基于非晶层粘性流动的机械化学抛光模型
被引量:
5
1
作者
蒋建忠
赵永武
雒建斌
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第24期2540-2546,共7页
通过分析单个微纳米磨粒滑动接触的分子动力学模拟的研究结果,提出了在典型的机械化学抛光(CMP)过程中芯片表面材料的去除应为表面非晶层物质粘性流动所致的新观点。基于这种机理,应用微观接触力学和磨粒粒度分布理论建立了一种新的表征...
通过分析单个微纳米磨粒滑动接触的分子动力学模拟的研究结果,提出了在典型的机械化学抛光(CMP)过程中芯片表面材料的去除应为表面非晶层物质粘性流动所致的新观点。基于这种机理,应用微观接触力学和磨粒粒度分布理论建立了一种新的表征CMP过程材料去除速率的数学模型。模型中引入了一个表征单个磨粒去除芯片表面非晶层能力的比例系数k,k综合反映了磨粒的机械作用、抛光液对芯片表面的化学作用和芯片的材料特性。通过实验验证发现该模型的理论预测值与实验测定值十分吻合。
展开更多
关键词
机械化学抛光(CMP)
非晶层
粘性流动
光盘特性
纳米接触
下载PDF
职称材料
多孔硅/聚合物复合膜等效折射率的研究
被引量:
4
2
作者
贾振红
涂楚辙
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第8期893-896,共4页
用多孔Si(PS)圆柱空腔二维结构模型,理论研究了TE模式情况下PS/聚合物复合膜的等效折射率,给出了PS等效折射率与孔隙率和嵌入率的关系。实验采用波导耦合m线法分别研究了TE模和TM模入射情况下(633 nm波长处),孔隙率为73%的PS膜嵌入聚合...
用多孔Si(PS)圆柱空腔二维结构模型,理论研究了TE模式情况下PS/聚合物复合膜的等效折射率,给出了PS等效折射率与孔隙率和嵌入率的关系。实验采用波导耦合m线法分别研究了TE模和TM模入射情况下(633 nm波长处),孔隙率为73%的PS膜嵌入聚合物聚合基丙烯酸甲酯(PMMA)材料后的等效折射率与聚合物嵌入率的关系。理论分析与实验结果基本符合。
展开更多
关键词
多孔硅(PS)/聚合物
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
复合膜
等效折射率
原文传递
题名
一种基于非晶层粘性流动的机械化学抛光模型
被引量:
5
1
作者
蒋建忠
赵永武
雒建斌
机构
江南大学
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第24期2540-2546,共7页
基金
江苏省自然科学基金资助项目(BK2004020)
教育部回国人员启动基金资助项目(教外司留[2004]527号)
清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金资助项目(SKLT04-06)
文摘
通过分析单个微纳米磨粒滑动接触的分子动力学模拟的研究结果,提出了在典型的机械化学抛光(CMP)过程中芯片表面材料的去除应为表面非晶层物质粘性流动所致的新观点。基于这种机理,应用微观接触力学和磨粒粒度分布理论建立了一种新的表征CMP过程材料去除速率的数学模型。模型中引入了一个表征单个磨粒去除芯片表面非晶层能力的比例系数k,k综合反映了磨粒的机械作用、抛光液对芯片表面的化学作用和芯片的材料特性。通过实验验证发现该模型的理论预测值与实验测定值十分吻合。
关键词
机械化学抛光(CMP)
非晶层
粘性流动
光盘特性
纳米接触
Keywords
chemical mechanical polishing
amorphous layer
viscous flow polish pad property nanometer contact
分类号
TG115.5 [金属学及工艺—物理冶金]
O484.40 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
多孔硅/聚合物复合膜等效折射率的研究
被引量:
4
2
作者
贾振红
涂楚辙
机构
新疆大学信息科学与工程学院
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第8期893-896,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60267001)
中国科学院"西部之光"资助项目
自治区高校科研计划资助项目
文摘
用多孔Si(PS)圆柱空腔二维结构模型,理论研究了TE模式情况下PS/聚合物复合膜的等效折射率,给出了PS等效折射率与孔隙率和嵌入率的关系。实验采用波导耦合m线法分别研究了TE模和TM模入射情况下(633 nm波长处),孔隙率为73%的PS膜嵌入聚合物聚合基丙烯酸甲酯(PMMA)材料后的等效折射率与聚合物嵌入率的关系。理论分析与实验结果基本符合。
关键词
多孔硅(PS)/聚合物
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
复合膜
等效折射率
Keywords
porous silicon(PS)/polymer
PMMA
composite film
equivalent refractive index
分类号
O484.401 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种基于非晶层粘性流动的机械化学抛光模型
蒋建忠
赵永武
雒建斌
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
5
下载PDF
职称材料
2
多孔硅/聚合物复合膜等效折射率的研究
贾振红
涂楚辙
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
4
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部