ITO膜的制备及性能研究

采用直流磁控溅射技术,在玻璃上沉积了30 nm~700 nm厚的系列透明导电ITO(In_(2)O_(3)∶Sn)薄膜。研究膜厚对透光率、方阻和屏效的影响。可见光的平均透光率在79%~87%,方阻在1.4Ω/~44Ω/之间变化,在低频的时候,屏蔽效能和膜厚没有多大的关系,在高频阶段屏蔽效能随膜厚的增加而增大。