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差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试
被引量:
6
1
作者
李刚
韩晓东
+5 位作者
李得天
成永军
孙雯君
柯鑫
冯勇建
许马会
《真空与低温》
2020年第1期17-20,共4页
提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度...
提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度优于10 fF/Pa,测试曲线可以实现分段线性。
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关键词
MEMS技术
差压式
电容薄膜真空规
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职称材料
题名
差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试
被引量:
6
1
作者
李刚
韩晓东
李得天
成永军
孙雯君
柯鑫
冯勇建
许马会
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
厦门大学航空航天学院
出处
《真空与低温》
2020年第1期17-20,共4页
基金
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)
文摘
提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度优于10 fF/Pa,测试曲线可以实现分段线性。
关键词
MEMS技术
差压式
电容薄膜真空规
Keywords
MEMS
differential pressure design
capacitance diaphragm gauge
分类号
T8771 [一般工业技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试
李刚
韩晓东
李得天
成永军
孙雯君
柯鑫
冯勇建
许马会
《真空与低温》
2020
6
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