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题名溶液激发方式对化学水浴法沉积CdS薄膜生长的影响
被引量:2
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作者
彭星煜
古宏伟
屈飞
丁发柱
张腾
王洪艳
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机构
中国科学院大学电工研究所应用超导重点实验室
中国科学院大学研究生院
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出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期762-769,共8页
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基金
国家自然科学基金(21101151)
中国科学院电工研究所创新人才项目(O940171C41)资助
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文摘
化学水浴法是目前制备CdS薄膜的主流方法之一,其中对溶液实施不同的溶液激发方式会对薄膜的性能产生很大影响。采用4种不同的溶液激发方式:搅拌法、静置法、超声法、摇晃法以化学水浴法沉积了CdS薄膜。采用台阶仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜和原子力显微镜等系统地研究了这4种不同的溶液激发方式对CdS薄膜的生长速度、晶体结构与表面形貌的影响。实验结果表明,随着沉积时间增加,CdS薄膜的厚度都会逐渐增加并最终趋于一恒定值。搅拌法与摇晃法制备的CdS薄膜具有更快的生长速度、更大的颗粒尺寸以及更加粗糙的表面形貌。采用静置法沉积薄膜在沉积时间较短时,薄膜表面存在大面积的由尺寸12 nm的小颗粒构成的区域。随着沉积时间增加,该区域面积逐渐减小进而消失。通过对薄膜表面形貌随沉积时间增加的演化过程的研究,在一定浓度下CdS薄膜的生长是离子-离子生长机制。通过对比不同溶液激发方式沉积的CdS薄膜的表面形貌,分析了不同溶液激发方式对CdS薄膜形貌的影响。
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关键词
CDS
化学水浴法
薄膜
生长机制
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Keywords
CdS
chemical bath deposition
thin film
growth mechanism
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分类号
TB304.25
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名沉积温度对化学水浴法CdS薄膜物理性质的影响
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作者
彭星煜
古宏伟
丁发柱
张腾
屈飞
王洪艳
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机构
中国科学院电工研究所应用超导重点实验室
中国科学院大学
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出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期405-411,共7页
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基金
国家自然科学基金项目(21101151)
中国科学院电工研究所创新人才项目(O940171C41)资助
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文摘
研究了化学水浴法制备的CdS薄膜微观结构与其带隙宽度的关系。采用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、分光光度计、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和能谱仪(EDS)等对不同沉积温度下制备的CdS薄膜的生长速率、晶体结构、光学性质、表面形貌和薄膜组分及其相互间关系进行了研究。随着沉积温度升高,薄膜沉积速率变快,H(002)晶面间距相应增加,带隙宽度逐渐下降。同时CdS薄膜的表面变得更为光滑。结合能谱分析发现,随着沉积温度上升,CdS薄膜的中硫的含量相应增加,薄膜中Cd/S原子比例更加接近于1∶1。CdS薄膜晶格常数的增加造成了带隙宽度的下降。而晶格常数的变化则归因于沉积温度的变化对薄膜中硫的含量的影响。沉积温度上升会促进OH-离子与硫脲的反应,加速S2-离子的释放,从而导致溶液中S2-离子浓度上升。在CdS薄膜的生长过程中会有更多硫进入到薄膜中,使得薄膜中的硫空位减少。而硫空位的减少会使薄膜晶体结构更加完整,导致晶格常数上升,更加接近于体材料的晶格常数。
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关键词
CDS
化学水浴法
沉积温度
带隙宽度
薄膜组分
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Keywords
CdS
chemical bath deposition
deposition temperature
energy hand gap
film composition
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分类号
TB304.25
[一般工业技术—材料科学与工程]
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