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位置敏感器PSD在几何量测量中的应用和展望 被引量：1
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作者 陈刚 范天泉 《工具技术》 北大核心 1996年第12期37-40,共4页
本文介绍了位置敏感器ＰＳＤ的结构原理及特点，对多种光电转换元件的性能及特点进行了归纳比较，并阐述了ＰＳＤ在几何量测量中的各种应用及其发展动向．
关键词 位置敏感器 几何量 测量 PSD 传感器
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