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关于新型功能材料精密微驱动器的研究综述
被引量:
7
1
作者
解甜
王传礼
喻曹丰
《微电机》
北大核心
2019年第7期72-81,共10页
精密微驱动器是微机电系统的核心部件,是实现微器件运动的关键。微驱动器的工作原理主要是利用物体的物性效应(物理效应、化学效应、生物效应等)实现对目的物的驱动与操作,本质就是将光、电、热等多种形式的能量转换成为机械能输出,是...
精密微驱动器是微机电系统的核心部件,是实现微器件运动的关键。微驱动器的工作原理主要是利用物体的物性效应(物理效应、化学效应、生物效应等)实现对目的物的驱动与操作,本质就是将光、电、热等多种形式的能量转换成为机械能输出,是近几年研究的热点。文章全面综述了电热式、磁致伸缩、电磁、压电陶瓷、静电和形状记忆合金几种微位移驱动器的原理、结构、特性及应用领域。
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关键词
微驱动器
静电驱动
形状记忆合金驱动
电磁驱动
电热驱动
压电驱动
超磁致伸缩驱动
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职称材料
题名
关于新型功能材料精密微驱动器的研究综述
被引量:
7
1
作者
解甜
王传礼
喻曹丰
机构
安徽理工大学机械工程学院
出处
《微电机》
北大核心
2019年第7期72-81,共10页
基金
国家自然科学基金(51075001)
安徽理工大学青年教师科学研究基金(12870)
文摘
精密微驱动器是微机电系统的核心部件,是实现微器件运动的关键。微驱动器的工作原理主要是利用物体的物性效应(物理效应、化学效应、生物效应等)实现对目的物的驱动与操作,本质就是将光、电、热等多种形式的能量转换成为机械能输出,是近几年研究的热点。文章全面综述了电热式、磁致伸缩、电磁、压电陶瓷、静电和形状记忆合金几种微位移驱动器的原理、结构、特性及应用领域。
关键词
微驱动器
静电驱动
形状记忆合金驱动
电磁驱动
电热驱动
压电驱动
超磁致伸缩驱动
Keywords
microactuators
electrostatic actuation
SMAA
magnetic actuators
electrothermal actuation
piezoelectric actuation
giant magnetostictive actuation
分类号
TH16.TP212 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
关于新型功能材料精密微驱动器的研究综述
解甜
王传礼
喻曹丰
《微电机》
北大核心
2019
7
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职称材料
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