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微泵电磁致动器的研制与测试
1
作者 龚秋莲 周兆英 +2 位作者 王晓浩 张文栋 夏邑 《测试技术学报》 1998年第3期376-381,共6页
本文阐述了微型机电系统(MEMS)领域中微泵的几种常见的致动方式及其特点。根据硅微泵的结构特点,制作出用于微型泵的电磁致动器,并对该电磁致动器进行了分析与振动测试。
关键词 微型泵 电磁致动器 振动测试 MEMS
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比例泵计量系统及标定
2
作者 黄新銮 孙永春 《标准．计量．质量》 1996年第2期15-16,共2页
关键词 比例泵 计量系统 标定
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