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微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究 被引量：11
1
作者 徐小云 颜国正 丁国清 《测控技术》 CSCD 2002年第8期1-5,共5页
微型机电系统技术是一个新兴的技术领域。本文介绍了微电子机械系统 (MEMS)的特点和关键技术 ,讨论了MEMS的应用 。
关键词 微电子机械系统 键合技术 微型机器人
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