SPM三维纳米级微定位的研究

介绍了一种三维纳米级微定位系统．该系统可用于各种扫描探针显微镜（SPM）探针和样品的微定位，探针可在样品表面10mm×10mm区域内定位，重复定位精度小于100nm，在高度方向，探针可顺利地进入样品表面100nm区域内．

万工显干涉测量衍射器

万能测量显微镜是机械制造行业中广泛应用的精密测试仪器。但它常用的普通下透射照明方法,由于光线绕射等因素的影响,误差很大。所谓理想光圈,也因每台仪器结构和制造上的差异。