锗单晶球面镜超精密车削加工研究

锗单晶球面镜是精密光学试验中的重要设备,表面粗糙度、型面精度要求高,加工难度大。对锗单晶球面镜的超精密车削加工进行了研究,分析了加工难点,对加工设备、切削方式、刀具角度、切削参数进行了选择与设置,给定了冷却润滑条件,并检测了加工得到的表面粗糙度与型面精度。通过锗单晶球面镜超精密车削加工,获得了符合设计要求的加工产品。