集成微型压力传感器

本文介绍了微型电子机械系统的发展，基本制作工艺及在传感器领域的应用。介绍了利用ＥＭＭＳ技术制造压力传感器的研究现状，重点描述了基于硅压阻效应的集成微型压力传感器及其封装技术。这种传感器通过Ｐ－Ｎ结电化学自停止腐蚀技术制作硅膜片，扩散电阻作为压电阻并形成桥路，且带有补偿电路。

测量流体压力、差压的复合式传感器

提出了由一只静压和一只差压传感器构成的复合式传感器。介绍了此复合式传感器的结构设计和性能测试结果。并说明了这种新型传感器在实际测量中具有独特的优越性。

扩散硅精密数字压力计

在压力的精密测量领域采用智能仪表是目前的发展方向。本文介绍了新研制的ＫＳＹ型扩散硅数字压力计的工作原理、性能指标及温度补偿措施。

AD598 在智能压力表中的应用

ＡＤ５９８是一种高集成度的新型差动变压器信号调节器。

脉动压力传感器研制

测量脉动压力用压阻式压力传感器，通过有限元应力分析求得灵敏度高、线性又好的双岛硅膜片结构；采用双面对准光刻工艺，各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。最后给出了脉动压力传感器的动、静态性能指标。

智能化光纤压力传感器

介绍了一种根据光纤弯曲损耗原理，以中空螺旋形光纤环作为压力传感元件，用８０９８单片机进行控制和数据处理的智能化光纤压力传感器。其测压范围可通过选用不同刚度的弹性元件加以扩大或缩小，测压准确度为０．５％，重复性、非线性误差均小于０．５％。

电容式压力传感器在注射泵中的应用

在医用注射泵中,输液状态的自动监测是确保其正常工作的前提条件。所谓输液状态是指输液管内药液流动的状态,当出现异常状态(如气泡/无液和阻塞)时,应及时提示或报警,以便采取相应的必要措施,从而避免发生意外。针对上述情况,本文提出了一种采用电容式压力传感器实现输液状态检测的实用型方案。

一种新颖的压力控制系统

用电接点压力表控制压力虽然直观，但面板庞大杂乱、易出故障，存在不少弊病。此文介绍引进设备的一种新颖压力控制定型方案，并引申到产品开发的感受。

一种压力传感器温度响应校准装置

介绍用于测试压力传感器温度特性的YWZ—1型压力传感器温度响应校准装置。简述了该装置的各组成部分、数据采集系统及分析计算用的专用软件、装置的关键技术和为保证稳定可靠工作而采取的有力措施以及测量结果的数据处理方法。列举了两个应用实例,给出了相应的温度修正曲线方程。

带筋片和凸台的高灵敏度压力传感器

带筋片和凸台的高灵敏度压力传感器ＲａｌｐｈＨ．Ｊｏｈｎｓｏｎ等１．前言高灵敏度低非线性硅原阻压力传感器是人们长期为之奋斗的目标。但实现这个目标的方法已经有了改进，目前主要关心的是凸台方法。通常采用全厚度的凸台或接近全厚度的凸台以使加工过程简化。这些方...

机械式压力阻尼器的类型及其应用

介绍了压力阻尼器的常见类型,建立了压力阻尼器的数学模型,给出了压力阻尼器的主要特性及应用中的注意事项。

新型不锈钢隔离膜压力传感器

世界领先的硅微机械加工压力、加速度传感器制造商——美国EG&G IC Sensors日前宣布了一款新系列压力传感器,设计用于腐蚀性介质的压力测量。采用新型芯片和制造工艺,使得该系列压力传感器性能指标充分提高而且成本更低。

半导体压力传感器的动向

半导体压力传感器的动向樱井止水城等随着工厂自动化和家庭自动化的进展，各种传感器大量应用，其成本也因大批量生产而显著降低。温度传感器、磁传感器和光传感器是它们的代表产品。压力传感器也致力于应用集成电路技术的半导体化，实现了高性能化和降低成本，现已广泛用...

半导体压力传感器MPX2100及其应用

文章简要介绍了带温度补偿压力传感器ＭＰＸ２１００的基本工作原理及其主要性能指标，并通过具体实例介绍了它的应用。