石英挠性加速度计测量误差的机电动力学分析

石英挠性加速度计测量误差的机电动力学分析＊贾建援仇原鹰甄明文贵印（西安电子科技大学电子机械学校西安７１００７１）（中国工程物理研究院５所）０引言目前，国内外批量生产的石英挠性加速度计的测量精度已达到或超过１μｇ，但由于产品在制造或装配中的误差，使得成...

加速度计输出信号的信息组成

目的 明确加速度计输出信号中包含哪些加速度信息 .方法 根据加速度计的力学模型求出加速度计输出信号的解析表达式 .结果与结论 加速度计输出信号中包含如下 4种加速度信息 :运动物体质心加速度 ,测试点相对质心的各阶振动加速度 。

壳体加速度对硅微角振动陀螺仪性能的影响

分析了壳体加速度对硅微角振动陀螺仪性能的影响，导出并分析了不平衡摆性误差和正交不平衡误差。

隧道加速度计的发展概况

利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理、特点及发展趋势。

石英挠性加速度计的电激励频域建模

本文针对传统的机械振动台激励获得石英挠性加速度计动态特性方法的缺点,提出了一种电激励方法及其在频域建立加速度计动态模型的方法,具有可以在线测度和实时取得加速度计动态数学模型的优点,文中对采用频域方法建立加速度计动态数学模型过程中的几个关键问题进行了探讨.为了验证本文算法的可靠性,文中也建立了一个二阶模拟滤波器动态模型.

微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟

本工作针对一种新型的电容式力平衡加速度计－微型静电悬浮Ｚ向加速度计进行了计算机模拟。模拟中的Ｚ向加速度计拟采用微机械加工技术在硅片上制作，利用静电悬浮原理平衡质量块，感应加速度并输出信号。计算机模拟分析了加速度计的悬浮特性，稳定特性，响应特性。对Ｃ－Ｆ转换电路的输出特性也进行了分析，该电路可用ＣＭＯＳ工艺集成在加速度传感器的周围。模拟结果表明该加速度计具有灵敏度高，抗冲击性能好的特点。