簧片式硅弹性膜应力分布的计算和加速度传感器的优化设计

为了提高我们已研制成功的新型簧片式硅加速度传感器的性能，用有限元法计算了不同形状和尺寸的质量块在４０ｇ值加速度作用下产生的应力分布，使我们优选了最佳的质量块设计方案，显著地提高了灵敏度，取得了与理论计算符合得很好的实验结果。

加速度传感器电激励等价性测试方法的研究

研究了采用电信号激励代替机械激励测试伺服加速度传感器动态特性的方法。理论上分析了电激励测试与机械激励测试结果的等价性及原理性误差。针对恒压源型的加速度计提出了一种新的等价性测试方法。实验结果进一步证实了理论分析及实验方法的正确性。

线加速度计的现状和发展动向

线加速度计是惯性测量和导航系统的主要惯性元件之一。当前，传统的力再平衡摆式加速度计占据加速度计的主要市场。对加速度计输出数字化的迫切要求，推动了石英振梁式加速度计的发展。随着微电子加工技术向惯性技术的渗透，微硅加速度计已崭露头角并受到广泛的关注。

3140型压阻式微硅加速度计测试与分析

微型加速度计作为一种新型惯性传感器 ,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势。 314 0型压阻式微硅加速度计是美国ICSensors公司的产品。文中介绍了它的结构设计和工作原理 ,并对其重要性能参数进行了测试和分析。

数字线加速度传感器的研究

本文采用一种自行设计的压电谐振器进行数字线加速度传感器的研究，论述了该传感器的机理、结构及性能特点，对这种传感器进行了制作和实验。结果表明该数字线加速度传感器具有良好的线性和稳定性，测量范围±50g，非线性1％，灵敏度0．0116g。且结构简单、成本低。

内装集成芯片的压电加速度传感器

综述了具有低功耗、能简化测量通道和方便应用于集成化控制系统的内装集成芯片压电加速度传感器的形成原理和众多优点,着重分析了使用时的一些特点,并介绍了具有国际先进水平的100系列电压输出压电加速度传感器和61000型恒流电压源的基本特点和技术性能指标。

气流式加速度传感器性能的研究

本文根据研制气流式加速度传感器所遇到的实际问题，用理论和实验的方法对其进行了分析和研究。并研究了工艺结构、供电电源电压和环境温度等因素对气流式加速度传感器性能的影响。分析了使气流式加速度传感器的性能指标得到了提高的因素。

影响气流式加速度传感器性能的因素

影响气流式传感器性能的因素有工艺结构设计、检测电路的设计等，作者用理论和实验的方法对其进行了分析和研究，结果证明选择合理的工艺结构、适当的电源电压，可提高气流式加速度传感器的性能。

扭摆式微加速度传感器的优化设计

】扭摆式微加速度传感器是一种用于测量运动物体加速度的微型传感器，在许多领域都有极其广泛的应用，是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。文章论述了其结构组成，分析了其工作机理，给出了其设计原则和加工工艺，最后通过实例验证了该设计方法的适用性。

压阻式加速度传感器的补偿技术的研究

对扩散硅压阻式加速度传感器的零点误差、温度漂移和动态特性等进行了分析研究 ,给出了它们的补偿原理及其实现方法。

一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究

介绍一种高灵敏度硅压阻式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ;通过分析和实践 ,得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。

一种新型的角加速度传感器

对一种新型角加速度传感器的工作原理和一些关键技术进行了阐述和分析。

微机械加速度开关动态特性分析

本文通过建立微机械加速度开关检测质量运动微分方程,利用数值分析方法对开关动态特性进行了分析,从而为微机械加速度开关的动态设计提供了理论依据.

电容式微加速度传感器的现状及研究方向

综述了典型的电容式微加速度传感器的工作原理、结构和特点，并对这类传感器的若干关键技术及研究方向进行了探讨。

压电加速度计的原理、结构及其使用

本文以美国 PCB 公司的压电加速度计为实例,主要介绍了加速度计的工作原理、结构、用途、安装使用时所考虑的问题,以及驱动电缆的选择与测试。

高α值加速度传感器标定方法的理论探讨与分析

从理论上探讨了标定高α值加速度传感器的方法,用一端受轴向冲击的等截面均匀细杆产生的应力波作为标定加速度传感器的冲击脉冲,由理论推导出自由杆的一端加速度和杆上的应变关系。在杆的这一端安装加速度传感器,就可对传感器进行标定。

新型加速度计集成芯片的原理及其应用

论述了新型加速度计集成芯片ADXL150／ADXL250的测量原理及内部电路结构，对其主要性能指标进行了介绍和分析。研究了这种集传感器和信号调理电路于一体的新型微机械元件的若干使用问题，对振动检测等典型应用的接口电路进行了介绍。

标定高g值加速度传感器的方法

本文探讨了标定高ｇ 值加速度传感器的新方法，用一端受轴向冲击的等截面均匀细杆产生的应力波作为标定加速度传感器的冲击脉冲，给出了自由杆的一端加速度和杆上的应变关系为ａ ＝ － ２Ｃ０ｄεｄｔ（ε为杆上的应变，Ｃ０ 为应力波传播速度）

弯曲型ICP加速度计

本文就ICP(Integrated CircuitPiezoelectric)加速度计作一简介,并且对弯曲型的结构进行浅析。作者认为ICP加速度计是今后采用天然或人造晶体作为敏感元件的加速度计的发展方向。本文为该项研究的简要报告。

微加速度传感器气膜运动方程的求解

用解析法求解了微结构加速度传感器气膜运动方程，其结果可用于微传感器的结构设计和系统分析。