石英器件加工工艺及最新进展

介绍国内外石英器件加工工艺发展 ,以石英摆片为例 。

振动式微硅型加速度传感器的研究

介绍了振动式微硅加速度传感器的工作原理及改进后振动式微硅加速度传感器结构设计的计算结果，并给出了改进后加速度传感器的样品及主要制备工艺。

加速度计校准

本文介绍了采用通用仪器校验压电式加速度计的方法,它以互易原理为基础。标定精度可达到1～2%。此法不仅用于加速度计的校准,而且也适用于其它机电式双向传感器。

一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究

本文介绍了一种高灵敏度硅压式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ,得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。

利用激振器改制压电加速度校准器

激振器是一种激励振动的装置。在我国使用激振器的工矿企业和研究单位不少，但这种装置的利用率不高。如果将其两只支撑弹簧反向安装，再装配一只调整振动弹簧，并且在轴杆顶端安装一只振动台面（或悬臂梁），激振器便改制成压电加速度校准器。该装置校准的准确度优于4%。它适合于工矿企业用作压电加速度计的传递标准和进行自检对比试验，以便检查测量仪器和测量结果的可靠性。经过多年使用结果证实，这种方法方便。实用、经济。

利用激振器改制压电加速度校准器

荷兰PHILIPS公司生产的PR9270型激振器是一种电动式激励装置(图1).由信号发生器产生音频信号,经过功率放大器进行功放后输送到PR9270的激励线圈,由于交变磁场与激振器内恒磁场的相互作用,线圈便产生相应频率的机械振动,激振力由固定在线圈上的顶杆传给被试物体.

用加速度计测量冲击和倾斜

由于加速度计具有从直流到400Hz的宽频率响应,因而可以用来测 量源自地球引力的静力加速度和源于冲击的震动或振动。本设计应用Motorola公司的MMAS40G10S加速度计,产生最小范围为-40G到+40G的加速度。倾斜测量概念 要测量一个目标的倾斜或取向,要求加速度计必须能对直流力作出响应。对于诸如压电之类不具有任何直流响应的技术来说这是不可能的。

加速度计的最新发展——微机械硅电容加速度计

本文对用微机械加工技术制成的薄膜型硅电容式微加速度计的国际最新研究动向进行了论述,列举了采用表面微机械加工、硅片键合、硅片溶解等微机械加工技术和有限元分析法来优化结构,达到超高性能和完善工艺、保证成品率以及采用反馈控制技术构成微机电一体化系统来补偿和完善性能的成功例子,列出已达到的性能指标。

压电加速度计的原理、结构及其使用

本文以美国 PCB 公司的压电加速度计为实例,主要介绍了加速度计的工作原理、结构、用途、安装使用时所考虑的问题,以及驱动电缆的选择与测试。

HПП精密离心机

在介绍了国内、外精密离子心机状况的基础上，披露了我们从俄罗斯引进的理程为２－７５０ｍ／ｓ＾２的ＨПП精密离心机的系统组成、系统功能、技术创新点以及实验使用情况，ＨПП精密离心机引进的成功，解决了我们目前和今后科研工作的急需，填补了国内高精度度精密离心机的空白。