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题名MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析
被引量:4
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作者
曾凡林
钟少龙
徐静
吴亚明
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机构
中国科学院上海微系统信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室
中国科学院研究生院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期785-790,共6页
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基金
中国科学院知识创新工程重要方向性项目
微系统技术国家级重点实验室基金项目资助
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文摘
在高精度MEMS扭摆式加速度计电容检测和光电检测实现原理的基础上,分析了该加速度计热机械噪声和电学噪声特性。该加速度计结构在品质因数Q=1和Q=85时,热机械噪声分别为2.4μgn/Hz和0.28μgn/Hz。对于电学噪声,电容检测的电学噪声为3.27μgn/Hz,光电检测在只考虑电学噪声时能分辨的最小加速度可达0.05μgn。对比得出对于扭摆式加速度计结构,光电检测具有比电容检测更小的系统总噪声。
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关键词
电容检测
光电检测
热机械噪声
电学噪声
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Keywords
capacitive detection
photoelectric detection
thermo-mechanical noise
electrical noise
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分类号
TH827.4
[机械工程—精密仪器及机械]
TB533
[理学—声学]
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题名中波广播发射天线的原理分析与维护关键技术研究
被引量:21
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作者
宗溢冰
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机构
内蒙古自治区新闻出版广电局满洲里
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出处
《中国传媒科技》
2018年第3期67-68,共2页
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文摘
文章以推动无线广播行业发展为前提,针对中波广播发射天线展开分析。首先介绍其基本原理,其次阐述内部结构,最后总结了维护关键技术与方法,目的是为今后中波广播发射天线一系列工作的顺利进行提供支持。
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关键词
中波广播发射天线
原理
维护关键技术
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分类号
TH827
[机械工程—精密仪器及机械]
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