提高俄歇能谱定量精度方法初探

本文就提高俄歇能谱相对灵敏度因子法的定量精度进行了探讨。结果表明,该法的定量精度与探束电压和谱线的选择、强度的获得方法和采样方式、相对灵敏度因子本身的精度和来源等因素有关。对几种已知的试样计算表明,如果上述条件选择适当,对灵敏度因子重新计算并进行溅射效应修正,其定量精度存目前条件下可提高近两个数量级。由溅射引发的表面相对强度变化约50％。

因子分析法及其在俄歇电子谱研究中的应用

详述了因子分析法的基本原理和发展状况，并介绍了这种方法在俄歇电子谱研究领域中的应用现状。包括元素化学态的分析、ＡＥＳ深度剖析、ＡＥＳ定量研究等领域。实践证明因子分析法作为一种强有力的谱分解、技术，在表面分析的研究中具有广泛的应用前景。