期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
提升熔石英抗激光损伤性能的磁流变与HF刻蚀结合方法
被引量:
1
1
作者
万稳
戴一帆
+1 位作者
石峰
彭小强
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期8-11,共4页
为提升紫外熔石英元件抗激光损伤性能,针对传统加工方法在加工过程中产生的破碎性缺陷和污染性缺陷,提出使用磁流变抛光结合HF酸刻蚀的组合工艺提升紫外熔石英元件抗激光损伤性能的方法。磁流变抛光特有的剪切去除原理能够有效去除传统...
为提升紫外熔石英元件抗激光损伤性能,针对传统加工方法在加工过程中产生的破碎性缺陷和污染性缺陷,提出使用磁流变抛光结合HF酸刻蚀的组合工艺提升紫外熔石英元件抗激光损伤性能的方法。磁流变抛光特有的剪切去除原理能够有效去除传统加工过程产生的破碎性缺陷,同时不产生新的破碎性缺陷。HF酸动态酸刻蚀能够有效减少加工过程中产生的金属元素污染。实验结果表明:经过组合工艺处理的熔石英样品,在7J/cm2·3ω激光通量辐照下损伤密度由0.2mm~^(-2)降至0.008mm^(-2),在8J/cm2·3ω激光通量辐照下损伤密度由1mm^(-2)降至0.1mm^(-2),其元件抗损伤性能提升显著。
展开更多
关键词
熔石英
磁流变抛光
HF酸刻蚀
缺陷
损伤密度
下载PDF
职称材料
题名
提升熔石英抗激光损伤性能的磁流变与HF刻蚀结合方法
被引量:
1
1
作者
万稳
戴一帆
石峰
彭小强
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
超精密加工技术湖南省重点实验室
出处
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期8-11,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(5127552
91323302)
文摘
为提升紫外熔石英元件抗激光损伤性能,针对传统加工方法在加工过程中产生的破碎性缺陷和污染性缺陷,提出使用磁流变抛光结合HF酸刻蚀的组合工艺提升紫外熔石英元件抗激光损伤性能的方法。磁流变抛光特有的剪切去除原理能够有效去除传统加工过程产生的破碎性缺陷,同时不产生新的破碎性缺陷。HF酸动态酸刻蚀能够有效减少加工过程中产生的金属元素污染。实验结果表明:经过组合工艺处理的熔石英样品,在7J/cm2·3ω激光通量辐照下损伤密度由0.2mm~^(-2)降至0.008mm^(-2),在8J/cm2·3ω激光通量辐照下损伤密度由1mm^(-2)降至0.1mm^(-2),其元件抗损伤性能提升显著。
关键词
熔石英
磁流变抛光
HF酸刻蚀
缺陷
损伤密度
Keywords
fused silica
magnetorheological finishing
HF acid etching
defects
damage density
分类号
TJ580.692 [兵器科学与技术—军事化学与烟火技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
提升熔石英抗激光损伤性能的磁流变与HF刻蚀结合方法
万稳
戴一帆
石峰
彭小强
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部