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题名石英晶体薄膜厚度差动测量技术的研究
被引量:1
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作者
郑德忠
王晓维
史锦珊
翟姝红
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机构
燕山大学
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1998年第3期49-52,共4页
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文摘
本文介绍一种石英晶体膜测厚的差动工作方式。它的厚度测量精度为1nm,分辨率为纳米级,其温度稳定性在0-+400℃范围内达到50Hz。这种差动测量技术不仅可在真空镀膜工艺中实现在线测量,而且在纳米技术及超精细加工中具有广阔应用前景。
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关键词
石英晶体
薄膜
厚度测量
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Keywords
quartz crystal differential thin film thickness measurement
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分类号
TM229.106
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名石英谐振式称重传感器的失效机理及可靠性分析
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作者
董永贵
张树
冯冠平
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1998年第6期419-422,共4页
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基金
国家"九五"攻关项目
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文摘
针对石英谐振式称重传感器的结构特点,对导致传感器产生失效的机理进行了分析。结合实验数据,确定了传感器的主要失效应力及失效表现形式,并进一步对传感器的可靠性进行了评估。分析和实验结果证明,将体声波石英谐振器用于结构式称重传感器的开发与生产是完全可行的,具有很好的发展前景。
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关键词
石英晶体
谐振器
称重
可靠性
电子衡器
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Keywords
quartz crystal resonator, weighing, reliability
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分类号
TH715.193
[机械工程—测试计量技术及仪器]
TM229.106
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名石英晶体元件参数的测量方法
被引量:7
- 3
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作者
薛国富
任丽华
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机构
陕西北川无线电器材厂
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出处
《压电晶体技术》
1996年第2期43-51,共9页
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文摘
本文主要介绍石英晶体元件参数的测量方法及其原理,特性,技术指标并对几种测量方法进行性能分析比较,同时给出了近年来常用的一些测试仪器。
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关键词
石英晶体
电子元件
测量
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分类号
TM229.106
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名一种新的阻抗计型晶体测试仪
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作者
龙凤广
李东
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机构
北京机械工业学院
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出处
《压电晶体技术》
1997年第2期27-30,共4页
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文摘
本文介绍了一种国内新型的阻抗计型晶体电参数测试仪,该仪器可在1 ̄60MHz频率范围内测量晶体的10项电参数,其抗水平和性能指标达到国外同类产品的先进水平。
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关键词
阻抗计型
晶体测试仪
晶体频率
测试
石英晶体
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分类号
TM229.106
[一般工业技术—材料科学与工程]
TM935.111
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名晶体测试仪的校准方法
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作者
王勇
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机构
中国赛宝实验室
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出处
《电子质量》
1999年第7期36-36,共1页
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文摘
我国是生产石英晶体的大国,年产各类型的石英晶体已达4.2亿只。石英晶体在现代生活中正起着越来越重要的作用,其应用已从钟表、电视等行业,扩展到新兴的VCD、计算机、BP机、大哥大等天线通讯行业。现全国有大小晶体厂200多家,
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关键词
晶体
测试仪
校准方法
石英晶体
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分类号
TM229.106
[一般工业技术—材料科学与工程]
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