微量进给机构的研究现状与展望

综合评述了微量进给机构的研究现状,对每一种微量进给机构的结构、原理及特点进行了介绍,并对常用微量进给机构性能作了比较,阐述了微量进给机构的最新研究成果,指出了微量进给机构研究中存在的问题,并对今后的研究作了展望。

压电陶瓷微量进给机构精密驱动电源的设计

该电源可实现电压0～300V 连续可调,分辨率为75mV(当电压变化100mV 时,位移变化0.01μm),输出纹波小于5mV,电源频响达500Hz,电压稳定性好,运行2h 后,输出变化小于0.03%。它具有手动和计算机程控两种功能。