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压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析
被引量:
1
1
作者
张健
沈德新
王渭源
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1997年第2期95-102,共8页
压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件,定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了RayleighRitz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲...
压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件,定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了RayleighRitz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。
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关键词
固有频率
压电超声微电机
微电机
多层膜
原文传递
题名
压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析
被引量:
1
1
作者
张健
沈德新
王渭源
机构
中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1997年第2期95-102,共8页
基金
国家攀登计划B"微电子机械系统"资助项目
文摘
压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件,定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了RayleighRitz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。
关键词
固有频率
压电超声微电机
微电机
多层膜
Keywords
Hybrid structure stator, stress, intrinsic frequency, deflection
分类号
TM386.033 [电气工程—电机]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析
张健
沈德新
王渭源
《功能材料与器件学报》
CAS
CSCD
1997
1
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