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压电超声微电机混合结构定子的固有频率特性分析 被引量:1
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作者 张健 沈德新 王渭源 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 1997年第2期95-102,共8页
压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件,定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了RayleighRitz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲... 压电超声微电机是依靠定子振动来换能的功率器件,定子性能将直接关系到微电机能否实现。本文采用了RayleighRitz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构(混合结构)定子的固有振动特性。推导中考虑了平面内应力和弯曲应力对固有频率的影响。模拟计算和实验结果符合得较好。此外还讨论了定子有关参数对固有频率的影响。 展开更多
关键词 固有频率 压电超声微电机 微电机 多层膜
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