交流永磁直线同步电机伺服系统的预见前馈补偿

介绍了高精度、微进给永磁直线交流同步电机（ＰＭＬＳＭ）伺服系统的ＩＰ位置控制后，提出了对该系统的最优预见前馈补偿，以提高系统的跟踪性能。为了补偿负载扰动，进一步增强系统的鲁棒性，设计了负载扰动力观测器来进行前馈。仿真实验结果证明了所提出方案的有效性。