扫描透射电子显微镜(STEM)在新一代高K栅介质材料的应用

扫描透射电子显微镜(STEM)原子序数衬度像(Z-衬度像)具有分辨率高(可直接"观察"到晶体中原子的真实位置)、对化学组成敏感以及图像直观易解释等优点,成为原子尺度研究材料微结构的强有力工具。本文介绍了STEM Z-衬度像成像原理、方法及技术特点,并结合具体的高K栅介质材料(如铪基金属氧化物、稀土金属氧化物和钙钛矿结构外延氧化物薄膜)对STEM在新一代高K栅介质材料研究中的应用进行了评述。目前球差校正STEM Z-衬度的像空间分辨率已达亚埃级,该技术在高K柵介质与半导体之间的界面微结构表征方面具有十分重要的应用。对此,本文亦进行了介绍。

电子显微镜的现状及其发展趋势

本文叙述了透射电子显微镜(TEM)扫描电子显微镜(SEM)及X射线能谱仪(EDS)等目前的现状及其发展趋势。

在H-800电镜上实现会聚束电子衍射的方法

本文介绍在没有CBED附件的情况下,如何在H-800电镜上实现会聚束电子衍射(CBED)的几种方法,如成像模式法、衍射模式法、STEM模式法、Free模式法和大角度会聚束电子衍射(LA CBED)。给出详细的操作步骤和注意事项,并讨论了影响CBED花样的几个因素。

电磁场计算中的Laplace插值函数

在电磁场数值计算中常常需要采用插值方法计算任意位置处的电位和场强。本文采用满足Laplace方程的多项式作为插值函数 ,以使插值所得的电位亦满足Laplace方程 ,从而得到了较为精确的插值结果。本文提出通过旋转坐标系来调整插值点的坐标 ,使得各插值点的坐标在各坐标轴方向上均匀分布 ,以进一步提高插值计算的精度。计算结果表明该方法在避免系数矩阵的奇异性和提高插值结果的精度上均较传统插值方法有相当的改善。

纳米孔模板的透射电镜观察

该文利用透射电镜对阳极氧化法制备的纳米孔模板进行了观察。纳米孔薄膜的正面观察是把纳米孔膜从模板上取下后通孔并碎化,把微小碎片放在铜网上观察;纳米孔薄膜的侧面观察是把纳米孔薄膜在ultrotome-nova超薄切片机进行切片后进行观察。结果表明,通过该两种办法,能够清楚地观察到纳米氧化孔膜的正面、侧面及纳米孔膜底部的金属颗粒,为纳米孔膜及在纳米孔内部制备的其它纳米物体观察提供了透射电镜方法。

基于飞秒激光直写光纤光栅的掺镱光纤激光器

利用飞秒激光微加工技术,可以在光纤纤芯内直写出布拉格光栅,它与传统的光纤光栅制作方法相比,具有耗时短、无需光敏光纤、周期可任意设定、光栅稳定性高等优点。采用800 nm钛宝石飞秒激光器,在Hi1060光纤内写入一支8 mm长的布拉格光栅,光纤光栅的周期为2.9μm,这是中心波长为1 042 nm的八阶光纤布拉格光栅。将所得光栅与一段有源的双包层光纤熔接,作为激光输出镜,利用975 nm的LD光纤模块作为泵浦源,采用端泵浦技术构成双包层光纤激光器。双包层光纤采用Nufern公司镱(Yb3+)离子掺杂双包层光纤,光纤长度3 m。所得激光器的输出功率为71.1 W,中心波长1 042 nm,带宽约为0.8 nm。

地磁环境下多通道航天器磁测量系统设计及应用

研究和开发了地磁环境下基于磁通门技术的以太网网络通信平台、磁传感器、测磁机箱和PC机相结合的多通道航天器磁测量系统,介绍了系统在航天器磁测量中的具体测量方法和应用过程。

DXA4—10型国产透射电镜的开发与运行研究

有了进口现代分析电镜以后,还应管好用好旧式国产电镜。本文总结了对旧式电镜进行局部改装和精心调试,全面恢复了出厂时最佳工作状态的经验。

H-600Ⅱ型电子显微镜循环水监测电路的故障排除

日立H—600Ⅱ型电子显微镜循环冷却水用于电磁透镜、热电源箱及扩散泵。一般要求冷却水满足下列条件: 流量:4～5升/分水温:10～25℃水压:0.5～2.0 kg/cm^2 扩散泵必需依靠冷却水工作,否则,油蒸气很快从扩散泵中挥发掉并严重污染扩散泵,为此。

扫描电镜视频图象闪烁现象的消除

本文对扫描电子显微镜的视频图象进行了分析和研究。在不降低原来的图象分辨线数、也不过多地增加行频的原则下,采用“隔15行”的扫描方式,将扫描电镜调象观察档的垂直扫描频率,由原来的1.67Hz提高到50Hz,消除了显象管屏幕上的图象闪烁现象。

扫描电子显微镜的安装与验收

本文就如何安装调试与验收扫描电子显微镜作了简单介绍,并以日立S-570型号例,对验收技术指标、方法及误差计算进行了具体说明。

基于距离分级聚类的杂波谱快速估计方法

为了能够有效地抑制回波信号中的杂波信号,降低杂波信号的影响,从而提高目标识别的准确性,结合距离分级聚类算法提出一种杂波谱快速估计方法。该方法先是利用距离分级聚类算法进行回波信号与杂波信号划分,得到杂波信号,后以得到的杂波信号为基础,进行杂波谱绘制完成杂波谱估计。结果表明:所提方法应用下得到的完成杂波谱估计宽度与设定的宽度大致相同,均方误差较小,且杂波谱估计花费时间少,实现了杂波谱快速估计准确与速度共赢的目的。

红外飞秒激光逐点刻写光纤布拉格光栅的束斑优化

用红外飞秒激光逐点刻写低阶光纤布拉格光栅(FBG),光束精确聚焦到光纤纤芯形成很小的光斑是至关重要的。把光纤看作柱透镜,理论分析和用Zemax软件仿真了单个物镜聚焦和柱透镜-物镜组合聚焦两种情况下光纤纤芯的光斑尺寸。单个物镜聚焦时光纤纤芯的光斑尺寸理论计算为0.67μm×84μm,仿真为2.6μm×76μm;柱透镜-物镜组合聚焦时光纤纤芯的光斑尺寸理论计算为3.76μm×0.67μm,仿真为4.1μm×2.2μm。发现利用柱透镜-物镜组合聚焦在纤芯能得到很小的光斑,光纤轴向尺寸大大缩小,这为制作低阶光纤布拉格光栅提供了可能性和基础。