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题名pH值对镁铝尖晶石化学机械抛光效果的影响
被引量:3
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作者
闫勇刚
邓小玲
王占奎
崔建军
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机构
河南理工大学机械与动力工程学院
河南科技学院机电工程学院
中国计量科学研究院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017年第B12期125-130,共6页
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基金
国家自然科学基金(51675497)
河南省高等学校重点科研项目(16A413006)
北京市自然科学基金(3162034)
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文摘
抛光液pH值对镁铝尖晶石的材料去除率和表面质量具有重要作用。采用不同pH值的抛光液对尖晶石样品进行研磨加工并测量其去除率和表面粗糙度,评价pH值对尖晶石化学机械抛光效果的影响。配制多种pH值抛光液,在转速为80 r/min和100 r/min的条件下开展两组化学机械抛光实验研究。采用失重法测量材料去除率;采用粗糙度仪测量尖晶石表面微观形貌,分析pH值和转速对抛光效果的影响规律,探索尖晶石材料的化学机械抛光机理。结果表明:加酸或加碱能有效提高材料去除率且降低表面粗糙度,但碱性介质帮助更大;抛光盘转速越高,尖晶石材料去除率和表面粗糙度也将增加,选择合适的抛光速度也是必要的。该研究成果将为进一步研究镁铝尖晶石化学机械抛光机理奠定实验基础。
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关键词
超精密加工
表面质量
PH值
化学机械抛光
镁铝尖晶石
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Keywords
ultra-precision machining
surface quality
pH value
chemical mechanical polishing
magnesia-alumina spinel
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分类号
TN161
[电子电信—物理电子学]
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题名小批量生产配合公差设计与控制
被引量:1
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作者
张武
郝刚
薛玲
陈佳耀
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机构
西安电子工程研究所
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出处
《火控雷达技术》
2010年第3期82-84,共3页
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文摘
结合产品装配过程中配合件的修配现象,分析小批量生产工件尺寸分布特点,探讨小批量生产配合公差的设计与控制。
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关键词
小批量生产
配合公差
尺寸分布
多孔定位
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Keywords
small-batch production
fit tolerance
dimension distribution
multi-hole fixing
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分类号
TN161
[电子电信—物理电子学]
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