期刊文献+
共找到2篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
pH值对镁铝尖晶石化学机械抛光效果的影响 被引量:3
1
作者 闫勇刚 邓小玲 +1 位作者 王占奎 崔建军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第B12期125-130,共6页
抛光液pH值对镁铝尖晶石的材料去除率和表面质量具有重要作用。采用不同pH值的抛光液对尖晶石样品进行研磨加工并测量其去除率和表面粗糙度,评价pH值对尖晶石化学机械抛光效果的影响。配制多种pH值抛光液,在转速为80 r/min和100 r/min... 抛光液pH值对镁铝尖晶石的材料去除率和表面质量具有重要作用。采用不同pH值的抛光液对尖晶石样品进行研磨加工并测量其去除率和表面粗糙度,评价pH值对尖晶石化学机械抛光效果的影响。配制多种pH值抛光液,在转速为80 r/min和100 r/min的条件下开展两组化学机械抛光实验研究。采用失重法测量材料去除率;采用粗糙度仪测量尖晶石表面微观形貌,分析pH值和转速对抛光效果的影响规律,探索尖晶石材料的化学机械抛光机理。结果表明:加酸或加碱能有效提高材料去除率且降低表面粗糙度,但碱性介质帮助更大;抛光盘转速越高,尖晶石材料去除率和表面粗糙度也将增加,选择合适的抛光速度也是必要的。该研究成果将为进一步研究镁铝尖晶石化学机械抛光机理奠定实验基础。 展开更多
关键词 超精密加工 表面质量 PH值 化学机械抛光 镁铝尖晶石
下载PDF
小批量生产配合公差设计与控制 被引量:1
2
作者 张武 郝刚 +1 位作者 薛玲 陈佳耀 《火控雷达技术》 2010年第3期82-84,共3页
结合产品装配过程中配合件的修配现象,分析小批量生产工件尺寸分布特点,探讨小批量生产配合公差的设计与控制。
关键词 小批量生产 配合公差 尺寸分布 多孔定位
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部